Атомная конфигурация и зарядовое состояние водорода на дислокациях в кремнии
Минобрнауки России, 14.В25.310017
Высотский Н.В.
1, Лошаченко A.С.
1, Вывенко О.Ф.
11Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: mrdestroyed@yandex.ru, loshachenko@nano.spbu.ru, vyvenko@nano.spbu.ru
Поступила в редакцию: 26 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2017 г.
Исследовалось влияние введения водорода на колебательные спектры и электрофизические свойства образцов с дислокационными сетками (ДС) на интерфейсе сращенных пластин кремния. Для увеличения чувствительности измерений и выделения сигнала ДС в спектрах комбинационного рассеяния использовались образцы в виде стандартных тонких фольг, применяемых в просвечивающей электронной микроскопии. В образцах с дислокационными сетками был зарегистрирован пик комбинационного рассеяния 2000 см-1, который сохранялся после отжига при T=500oC и не наблюдался в контрольных образцах. Сопоставление экспериментальных данных с имеющимися теоретическими расчетами позволило приписать обнаруженный пик к H0 в центре Si-Si связи, который является метастабильным в идеальной решетке, но стабилизируется в окрестности дислокации. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44198.8378
- J. Pankove, D. Carlson, J. Berkeyheiser, R. Wance. Phys. Rev. Lett., 51, 2224 (1983)
- C.-T. Sah. Appl. Phys. Lett., 43, 204 (1983)
- N.M. Johnson, C. Herring, D.J. Chadi. Phys. Rev. Lett., 56, 769 (1986)
- S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A Mater., 43, 153 (1987)
- K. Chang, D. Chadi. Phys. Rev. B, 40, 11644 (1989)
- G.G. Van de Walle. Phys. Rev. Lett., 80, 2177 (1998)
- A.W.R. Leitch, V. Alex, J. Weber. Phys. Rev. Lett., 81, 421 (1998)
- H.J. Stein. J. Electron. Mater., 4, 159 (1975)
- M. Budde, G. Lupke, C.P. Cheney, N.H. Tolk, L.C. Feldman. Phys. Rev. Lett., 85, 1452 (2000)
- M. Budde, C.P. Cheney, G. Lupke, N.H. Tolk, L.C. Feldman. Phys. Rev. B, 63, 195203 (2001)
- V.V. Kveder, R. Labusch, Y.A. Ossipyan. Phys. Status Solidi A, 84, 149 (1984)
- C. Kisielowski-Kemmerich, W. Beyer. J. Appl. Phys., 66, 552 (1989)
- M. Matsubara, J. Godet, L. Pizzagalli. Phys. Rev. B, 82, 024107 (2010)
- M. Matsubara, J. Godet, L. Pizzagalli. J. Phys. Condens. Matter, 22, 035803 (2010)
- M.I. Heggie, S. Jenkins, C.P. Ewels, P. Jemmer, R. Jones, P.R. Briddon. J. Phys. Condens. Matter, 12, (49), 10263 (2000)
- A. Loshachenko, A. Bondarenko, O. Vyvenko, O. Kononchuk. Phys. Status Solidi C, 10, 36 (2013)
- A. Loshachenko, O. Vyvenko, O. Kononchuk. Sol. St. Phenomena, 205--206, 341 (2014)
- I. Isakov, A. Bondarenko, O. Vyvenko, V. Vdovin, E. Ubyivovk, O. Kononchuk. J. Phys. Conf. 281, 012010 (2011)
- V.I. Vdovin, E.V. Ubyivovk, O.F. Vyvenko. Semiconductors, 47, 264 (2013)
- N. Vysotskii, A. Loshachenko, E. Borisov, O. Vyvenko. J. Phys. Conf. 690, 012004 (2016)
- C.G. Van de Walle, P.J.H. Denteneer, Y. Bar-Yam, S.T. Pantelides. Phys. Rev. B, 39, 10791 (1989)
- K.J. Chang, D.J. Chadi. Phys. Rev. B, 40, 11644 (1989)
- C.-Y. Peng, C.-F. Huang, Y.-C. Fu, Y.-H. Yang, C.-Y. Lai, S.-T. Chang, C.W. Liu. J. Appl. Phys. 105, 083537 (2009)
- S.K. Estreicher. Mater. Sci. Eng. R., 14, 319 (1995)
- Y. Park, J. Lu, G. Rozgonyi. Electron. Mater. Lett., 6, 1 (2010)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
