"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование сингулярных (001) террас на поверхности монокристаллических HPHT алмазных подложек
Юнин П.А.1,2,3, Дроздов Ю.Н.1,3, Чернов В.В.2, Исаев В.А.2, Богданов С.А.2, Мучников А.Б.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: yunin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2016 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2016 г.

Обсуждаются способы экспериментальной диагностики и управления величиной отклонения плоскости поверхности монокристаллических алмазных HPHT (High Pressure High Temperature) пластин относительно кристаллографических плоскостей (001). Такие пластины (подложки) используются для гомоэпитаксиального выращивания как легированных, так и нелегированных пленок CVD алмаза. При травлении HPHT подложек в плазме СВЧ разряда в чистом водороде либо в водород-кислородной смеси наблюдается формирование сингулярных террас с ориентацией поверхности (001). Это явление может быть использовано как для экспресс-анализа ориентации подложки и повышения точности контроля угла отклонения при шлифовке подложек, так и для получения макроскопических сингулярных (001) участков монокристаллических алмазных подложек.
  1. R. Sussmann. CVD diamond for electronic devices and sensors (John Wiley\& Sons, 2009)
  2. Е. Kohn, A. Denisenko. Thin Sol. Films, 515, 4333 (2007)
  3. A.B. Muchnikov, D.B. Radishev, A.L. Vikharev, A.M. Gorbachev, A.V. Mitenkin, M.N. Drozdov, Y.N. Drozdov, P.A. Yunin. J. Cryst. Growth, 442, 62 (2016)
  4. A.B. Muchnikov, A.L. Vikharev, J.E. Butler, V.V. Chernov, V.A. Isaev, S.A. Bogdanov, A.I. Okhapkin, P.A. Yunin, Y.N. Drozdov. Phys. Status Solidi A, 212, 2572 (2015)
  5. O.A. Ivanov, A.B. Muchnikov, V.V. Chernov, S.A. Bogdanov, A.L. Vikharev, J.E. Butler. Mater. Lett., 151, 115 (2015)
  6. A.L. Vikharev, A.M. Gorbachev, V.A. Koldanov, D.B. Radishchev. Plasma Phys. Rep., 31, 338 (2005)
  7. Д.М. Хейкер. Рентгеновская дифрактометрия монокристаллов (Л., Машиностроение, 1973)
  8. В.Н. Стасевич. Технология монокристаллов (М., Радио и связь, 1990)
  9. J. Achard, F. Silva, O. Brinza, X. Bonnin, V. Mille, R. Issaoui, M. Kasu, A. Gicquel. Phys. Status Solidi A, 206 (9), 1949 (2009)
  10. M. Naamoun, A. Tallaire, F. Silva, J. Achard, P. Doppelt, A. Gicquel. Phys. Status Solidi A, 209 (9), 1715 (2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.