"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана
Министерство образования и науки Российской Федераци, Госзадание, 1936
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Мой первый грант, 14-07-31322 мол_а
Авилов В.И.1, Агеев O.А.1, Коноплев Б.Г.1, Смирнов В.А.1, Солодовник М.С.1, Цуканова О.Г.1
1Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
Email: ttismirnov@gmail.com
Поступила в редакцию: 20 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.

Представлены результаты экспериментальных исследований фазового состава оксидных наноразмерных структур, сформированных методом локального анодного окисления тонкой пленки титана. Результаты фазового анализа оксидных наноразмерных структур титана получены методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии в режиме ионного профилирования. Установлено, что поверхность оксидных наноразмерных структур титана высотой 4.5±0.2 нм характеризуются энергией связи остовных уровней, характерных для TiO2 (458.4 эВ). При анализе оксидных наноразмерных структур титана по глубине методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено формирование фаз с энергией связи остовных уровней, характерных для Ti2O3 (456.6 эВ) и TiO (454.8 эВ). Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления перспективной электронной компонентной базы наноэлектроники на основе оксидных наноразмерных структур титана с использованием зондовых нанотехнологий.
  1. U. Diebold. Surf. Sci. Reports, 48, 53 (2003)
  2. O.A. Ageev, V.A. Smirnov, N.I. Alyab'eva N.I., B.G. Konoplev, V.V. Polyakov. Semiconductors, 44 (13), 1703 (2010)
  3. O.A. Агеев, Б.Г. Коноплев, В.В. Поляков, А.М. Светличный, В.А. Смирнов. Нано- и микросистемная техника, 1 (90), 14 (2008)
  4. M. Tsuchiya, Subramanian K.R.S. Sankaranarayanan, S. Ramanathan. Prog. Mater. Sci., 54, 981 (2009)
  5. B.K. Неволин. Зондовые нанотехнологии в электронике (М., Техносфера, 2006)
  6. A.O. Ageev, B.G. Konoplev, V.V. Polyakov, A.M. Svetlichnyi, V.A. Smirnov. Russian Microelectronics, 36 (6), 353 (2007)
  7. V.I. Avilov, O.A. Ageev, A.S. Kolomiitsev, B.G. Konoplev, V.A. Smirnov. Semiconductors, 48 (13), 1757 (2014)
  8. D. Acharyya, A. Hazra, P. Bhattacharyya. Microelectronics Reliability, 54 (3), 541 (2014)
  9. M. Feldman. Nanolithography. The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems (Woodhead Publishing Ltd, 2014)
  10. X-ray Photoelectron Spectroscopy Database of the National Institute of Standards and Technology ( NIST) http://srdata.nist.gov/xps/

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.