"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование корреляционных свойств структуры поверхности пленок nc-Si/a-Si : H с различной долей кристаллической фазы
Алпатов А.В.1, Вихров С.П.1, Казанский А.Г.2, Лясковский В.Л.3,4, Рыбин Н.Б.1, Рыбина Н.В.1, Форш П.А.2
1Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
3Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, Москва, Россия
4Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва, Россия
Email: pgnv@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.

Методом двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом исследованы корреляционные свойства структуры пленок nc-Si/a-Si : H с различной объемной долей кристаллической фазы. Анализ рельефа поверхности экспериментальных образцов показал, что по мере увеличения объемной доли кристаллической фазы в пленках nc-Si/a-Si : H наблюдалось увеличение размера и количества нанокластеров на их поверхности. Размеры нанокристаллов Si в матрице a-Si : H (6-8 нм) указывают на то, что крупные нанокластеры образовались в результате самоорганизации нанокристаллов Si в группы при воздействии лазерного излучения. С помощью метода двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом выявлено, что по мере увеличения доли нанокристаллов в пленках nc-Si/a-Si : H возрастало количество корреляционных векторов (гармонических составляющих) в их структуре.
  1. D.L. Staebler, C.R. Wronski. J. Appl. Phys., 51, 3262 (1980)
  2. C.R. Wronski, R.W. Collins. Solar Energy, 77, 877 (2004)
  3. M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret, J.P. Kleider. J. Appl. Phys., 109, 023 713 (2011)
  4. J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 599 (2002)
  5. T.Y. Choi, D.J. Hwang, C.P. Grigoropoulos. Opt. Eng., 42, 3383 (2003)
  6. S.D. Sundaram, E. Masur. Nature. Materials, 1, 217 (2002)
  7. J. Shieh, Z. Chen, B. Dai, Y. Wang, A. Zaitzev, C. Pan. Appl. Phys. Lett., 85, 1232 (2004)
  8. X.C. Wang, H.Y. Zheng, C.W. Tan, F. Wang, H.Y. Yu, K.L. Pey. Opt. Express, 18, 19 379 (2010)
  9. B.K. Nayak, M.C. Gupta. Appl. Phys. A, 89, 663 (2007)
  10. G. Nicolis, I. Prigogine. Self-organization in nonequlibrium systems. From dissipative to order through fluctuations (N.Y., Wiley, 1977) p. 512
  11. А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин, А.В. Кукин, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП, 46, 769 (2012)
  12. A.V. Emelyanov, A.G. Kazanskii, M.V. Khenkin, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Appl. Phys. Lett., 101, 081 902 (2012)
  13. A.V. Emelyanov, M.V. Khenkin, A.G. Kazanskii, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Thin Sol. Films, 556, 410 (2014)
  14. А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина, С.М. Мурсалов. Вестн. РГРТУ, 4 (42), ч. 2, 12 (2012)
  15. А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина. ФТП, 47 (3), 340 (2013)
  16. А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Рыбина. ФТП, 49 (4), 467 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.