"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiOx:H с нанокластерами кремния
Терехов В.А.1, Теруков Е.И.2, Ундалов Ю.К.2, Паринова Е.В.1, Спирин Д.Е.1, Середин П.В.1, Минаков Д.А.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.

Исследованы фазовый состав и оптические свойства гидрированных аморфных пленок субоксида кремния (a-SiOx:H) c нанокластерами кремния. Методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии установлено, что с помощью модуляции DC-разряда можно получить пленки субоксида кремния с разной степенью окисления и с различной концентрацией кластеров аморфного кремния. В пленках с содержанием ncl-Si около 50% наблюдается край оптического поглощения, экстраполяция которого дает оценки оптической ширины запрещенной зоны около 3.2-3.3 эВ. При этом в видимой области наблюдаются довольно интенсивные полосы фотолюминесценции, положение максимумов которых свидетельствует о формировании в этих пленках нанокластеров кремния с размерами 2.5 - 4.7 нм в зависимости от состава пленки.
  1. V.A. Terekhov, V.M. Kashkarov, E.Yu. Manukovskii, A.V. Schukarev, E.P. Domashevskaya. J. Electron Spectroscopy and Relat Phenomena, 114--116, 895 (2001)
  2. О.Б. Гусев, Ю.С. Вайнштейн, Ю.К. Ундалов, О.С. Ельцина, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков, О.М. Сресели. Письма ЖЭТФ, 94 (5), 402 (2011)
  3. Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков. ФТП, 49 (7), 887 (2015)
  4. Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия (Л., Изд-во ЛГУ, 1971) c. 132
  5. И.Н. Сарычева О.О. Янушевич, Д.А. Минаков. Патент РФ N 2464549 (2011)
  6. G. Wiech, H.-O. Feldhutter, A. Simunek. Phys. Rev. B, 47 (12), 6981 (1993)
  7. И.А. Брытов, В.А. Гриценко, Ю.Н. Ромащенко. ЖЭТФ, 89 (2), 562 (1985)
  8. L. Patrone, D. Nelson, V. I. Safarov, M. Sentis, W. Marine, S. Giorgio. J. Appl. Phys., 87 (8), 3829 (2000)
  9. G. Ledoux, J. Gong, F. Huisken, O. Guillois, C. Reynaud. J. Appl. Phys., 80 (25), 4834 (2002)
  10. G. Allan, C. Delerue, M. Lannoo. Phys. Rev. Lett., 78, 3161 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.