Вышедшие номера
Формирование структур графит/SiC методом термического разложения карбида кремния
Мынбаева М.Г.1,2, Лаврентьев А.А.2, Мынбаев К.Д.2,1
1Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: mgm@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2015 г.

Изучены условия синтеза углеродных покрытий на поверхности пластин карбида кремния (SiC), получаемых методом термического разложения. Исследовано влияние температуры и состава атмосферы отжига образцов на характер структурных свойств получаемых слоев. В результате определены условия, при которых могут быть получены сплошные пленки графита как с поликристаллической, так и с монокристаллической структурой.