"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние поверхностной модификации катализаторами на газовую чувствительность пленок SnO2+3% SiO2
Рембеза С.И.1, Рембеза Е.С.1, Свистова Т.В.1, Кошелева Н.Н.1, Аль Тамееми В.М.К.2
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Daila University, Daila, Republic Iraq
Поступила в редакцию: 15 января 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

Тонкие пленки SnO2+3% SiO2 (250 нм), изготовленные методом магнетpонного распыления в контролируемой атмосфере Ar+O2, использованы в качестве сенсорных элементов в датчике газов, изоготовленном по микроэлектронной технологии. Датчик содержит два чувствительных элемента, один из которых использовался как контрольный, а на поверхность второго наносился водный раствор (3, 6, 9, 12 ммоль) нитрата серебра Ag(NO3) или хлорида палладия PdCl2. Установлено, что поверхностная модификация катализаторами снижает температуру максимальной газовой чувствительности SnO2+3% SiO2 на 100-200oC, а в некоторых случаях также и увеличивает величину максимальной газовой чувствительности в несколько раз.
  1. Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, Т.А. Горстка. ФТП, 49 (3), 406 (2015)
  2. М. Мейтин. Электроника: наука, технология, бизнес, 6, 40 (2000)
  3. D. Hong, G. Yerubandi, H.Q. Chiang. Critical Reviews Solid State and Mater. Sci., 33 (2), 101 (2008)
  4. R.E. Presley, C.L. Munsee, C.-H. Park . J. Phys. D: Appl. Phys., 37, 2810 (2004)
  5. В.В. Кисин, В.В. Симаков, А.С. Ворошилов. Приборы и техника эксперимента, N 1, 158 (2009)
  6. В.В. Томаев, Л.Н. Гарькин, В.П. Мирошкин. Физика и химия стекла, 31 (2), 331 (2005)
  7. Ф.Ф. Волькенштейн. Физикохимия поверхности полупроводников (М., Наука, 1973)
  8. Г. Виглеб. Датчики: устройство и применение (М., Мир, 1989)
  9. A. Lewandowska, I. Kocemba, J. Rynkowski. Polish J. Environ. Stud., 17 (3), 433 (2008)
  10. С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, О.И. Борсякова. Сенсор, 2, 37 (2001)
  11. С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, Е.С. Рембеза, Г.В. Горлова. Электротехника, 10, 10 (2004)
  12. Е.С. Рембеза, С.И. Рембеза, Е.А. Ермолина, М.В. Гречкина. Нано- и микросистемная техника, 6, 19 (2008)
  13. С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, Н.Н. Кошелева, Е.С. Рембеза, Ю.В. Шматова. ФТП, 46 (9), 1213 (2012)
  14. Е.Ю. Севастьянов, Н.К. Максимова, В.А. Новиков. ФТП, 46 (6), 820 (2012)
  15. С.И. Рембеза, Н.Н. Кошелева, Е.С. Рембеза, В.А. Буслов. Нано- и микросистемная техника, 12, 17 (2010)
  16. В.В. Петров, А.Н. Королев. Наноразмерные оксидные материалы для сенсоров газов (Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2008)
  17. С.И. Рембеза, Д.Б. Просвирин, О.Г. Викин. Сенсор, 1, 20 (2004)
  18. И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А. Завьялов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
  19. В.В. Петров, Т.Н. Назарова, А.Н. Королев. Изв. Южного федерального ун-та. Технические науки, 9 (53), 158 (2005)
  20. M.S. Tong, G.R. Dai, D.S. Gao. Vacuum, 59, 877 (2000)
  21. S. Matsushima, Y. Teraoka, N. Yamazoe. Jpn. J. Appl. Phys., 27 (3), 1798 (1988)
  22. С.С. Карпова, В.А. Мошников, С.В. Мякин, Н.Е. Казанцева. ФТП, 47 (8), 1022 (2013)
  23. В.Б. Лазарев, В.Г. Краснов, И.И. Шаплыгин. Электропроводность окисных систем и пленочных структур (М., Наука, 1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.