"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование микрокристаллического кремния методом малоуглового рассеяния рентгеновских лучей
Шарков М.Д.1, Бойко М.Е.1, Бойко А.М.1, Бобыль А.В.1, Конников С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 декабря 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

С помощью методики малоуглового рассеяния рентгеновских лучей исследован набор из двух типов образцов микрокристаллического кремния, произведенного для применения в панелях солнечных элементов. Показано, что в двух отдельных образцах, относящихся к разным типам, высоты зерен кремния составляют около 230 и 23 нм соответственно --- вместо технологически запланированных 200 и 20 нм. Показано, что в образце, у которого в целях проведения исследований в просвечивающем режиме была сошлифована стеклянная подложка, сформирован поверхностный слой в виде локально упорядоченной матрицы из зерен аморфного кремния размером около 3 нм.
  1. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теория упругости (М., Физматлит, 2003) с. 240
  2. A.V. Bobyl, M.E. Boiko, A.M. Boiko, M.D. Sharkov, E.I. Terukov. Abstracts of the Photovoltaic Technical Conference (PVTC) 2012 (Aix-en-Provence, France, 2012)
  3. O. Glatter, O. Kratky (eds). Small-Angle X-Ray Scattering (London, Academic Press, 1982)
  4. S.-H. Chen, B.L. Carvalho, X.-H. Guo, J. Chen, V. Leung, S.-L. Chang, P. Lo Nostro, J. Rouch, P. Tartaglia, X.-B. Wei. RLE Progress Report, 132, 157 (1989)
  5. М.Е. Бойко, М.Д. Шарков, А.М. Бойко, С.И. Нестеров, С.Г. Конников. ФТТ, 55 (10), 2036 (2013)
  6. Н.С. Савкина, В.В. Ратников, А.Ю. Рогачев, В.Б. Шуман, А.С. Трегубова, А.А. Волкова. ФТП, 36 (7), 812 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.