"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Анизотропный шейпинг макропористого кремния
Астрова Е.В.1, Парфеньева А.В.1, Ли Г.В.1, Жарова Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 23 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Рассмотрены различные высокоаспектные структуры, которые изготавливаются из макропористого кремния с упорядоченной решеткой путем дополнительной обработки в анизотропных травителях. Определены условия и особенности получения структур со стенками, образованными одним типом медленно травящихся плоскостей: (110) или (100), и зависимость их пористости и удельной внутренней поверхности от толщины стенок. Экспериментально демонстрируются структуры в виде зигзага, сетки и столбиков, изготовленные на основе макропористого кремния с помощью анизотропной обработки в водных растворах KOH.
  1. V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  2. T. Trifonov, M. Gari n, A. Rodri guez, L.F. Marsal, R. Alcubilla. Phys. Status Solidi A, 204, 3237 (2007)
  3. H. Foll, J. Carstensen, E. Ossei-Wusu, A. Cojocaru, E. Quiroga-Gonzalez, G. Neumann. J. Electrochem. Soc., 158, А580 (2011)
  4. V. Lehmann. Phys. Status Solidi A, 204, 1318 (2007)
  5. E. Quiroga-Gonzalez, J. Carstensen, H. Foll. Electrochim. Acta, 101, 93 (2013)
  6. Г.В. Ли, Т.Л. Кулова, В.А. Толмачев, А.В. Черниенко, М.А. Баранов, С.И. Павлов, Е.В. Астрова, А.М. Скундин. ФТП, 47, 1288 (2013)
  7. H. Wu, Y. Cui. Nano Today, 7, 414 (2012)
  8. V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Weinheim, Wiley-VCH, 2002) chap. 9, p. 183
  9. I. Zubel, K. Rola, M. Kramkowska. Sensors Actuators A, 171, 436 (2011)
  10. H. Seidel, L. Csepregi, A. Heuberger, H. Baumgortel. J. Electrochem. Soc., 137, 3612 (1990)
  11. M. Elwenspoek, H.V. Jansen. Silicon micromachining (Cambridge University Press, Cambridge, 2004) chap. 2, p. 5
  12. I. Zubel, M. Kramkowska. Sensors Actuators A, 101, 255 (2002)
  13. R. Wind, M. Hines. Surf. Sci., 460, 21 (2000)
  14. R. Wind, H. Jones, M. Little, M. Hines. J. Phys. Chem. B, 106, 1557 (2002)
  15. D. Resnik, D. Vrtacnik, U. Aljancic, M. Mozek, S. Amon. J. Micromech. Microeng., 5, 1174 (2005)
  16. O. Powell, H.B. Harrison. J. Micromech. Microeng., 11, 217 (2001)
  17. Ya. Jiang, Q. Huang. Semicond. Sci. Technol., 20, 524 (2005)
  18. А.В. Черниенко, Е.В. Астрова, Ю.А. Жарова. Письма ЖТФ, 39, 17 (2013).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.