Вышедшие номера
Анизотропный шейпинг макропористого кремния
Астрова Е.В.1, Парфеньева А.В.1, Ли Г.В.1, Жарова Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 23 июля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Рассмотрены различные высокоаспектные структуры, которые изготавливаются из макропористого кремния с упорядоченной решеткой путем дополнительной обработки в анизотропных травителях. Определены условия и особенности получения структур со стенками, образованными одним типом медленно травящихся плоскостей: (110) или (100), и зависимость их пористости и удельной внутренней поверхности от толщины стенок. Экспериментально демонстрируются структуры в виде зигзага, сетки и столбиков, изготовленные на основе макропористого кремния с помощью анизотропной обработки в водных растворах KOH.