"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Молекулярно-пучковая эпитаксия GaP на подложке Si
Соболев М.С.1, Лазаренко А.А.1, Никитина Е.В.1, Пирогов Е.В.1, Гудовских А.С.1, Егоров А.Ю.1
1Санкт-Петербургский Академический университет --- научно-образовательный центр нанотехнологий Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Показана возможность создания монокристаллических буферных слоев GaP на подложке Si методом молекулярно-пучковой эпитаксии с использованием методики "эпитаксия с повышенной миграцией" на стадии формирования зародышевого слоя. При формировании слоя GaP на подложке кремния p-типа проводимости в подложке естественным образом создается p-n-переход между подложкой p-Si и приповерхностным слоем n-Si, который возникает в результате диффузии фосфора в подложку в процессе эпитаксиального роста GaP. Данный p-n-переход может быть использован в качестве первого перехода многопереходного фотоэлектрического преобразователя на основе кремния.
  1. S.Y. Moon, H. Yonezu, Y. Furukawa, Y. Morisaki, S. Yamada, A. Wakahara. Phys. Status Solidi A, 204 (6), 2082 (2007)
  2. А.В. Бабичев, А.А. Лазаренко, Е.В. Никитина, Е.В. Пирогов, М.С. Соболев, А.Ю. Егоров. ФТП, 48 (4), 518 (2014)
  3. Y. Furukawa, H. Yonezu, A. Wakahara, S. Ishiji, S.Y. Moon, Y. Morisaki, J. Cryst. Growth, 300, 172 (2007)
  4. T. Nguyen Thanh, C. Robert, W. Guo, A. Letoublon, C. Cornet, G. Elias, A. Ponchet, A. Rohel. Appl. Phys. Lett., 112, 053 521 (2012)
  5. А.А. Лазаренко, Е.В. Никитина, Е.В. Пирогов, М.С. Соболев, А.Ю. Егоров. ФТП, 48 (3), 407 (2014)
  6. H. Yonezu, Y. Furukawa, A. Wakahara. J. Cryst. Growth, 310, 4757 (2008)
  7. A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Electrochem. Soc., 133, 666 (1986)
  8. T. Tsuji, H. Yonezu, M. Yokozeki, Y. Takagi, Y. Fujimoto, N. Ohshima. Jpn. J Appl. Phys., 36 (9A), 5431 (1997)
  9. J.F. Geisz, J.M. Olson, D.J. Friedman, K.M. Jones, R.C. Reedy, M.J. Romero. 31th IEEE PVSC (2005) p. 695
  10. Y. Horikoshi, H. Yamaguchi, T.S. Rao, S. Ramesh, N. Kobayashi. AIP Conf. Proc., 227, 29 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.