Адаптация модели туннелирования в системе металл/ CaF2/Si(111) к использованию в симуляторах МДП-приборов
Векслер М.И.1, Илларионов Ю.Ю.1,2, Тягинов С.Э.1,2, Grasser T.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2TU Vienna, Institute for Microelectronics, Vienna, Austria
Поступила в редакцию: 20 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
Предложен вариант упрощения модели туннельного переноса электронов через тонкий слой кристаллического фторида кальция в кремний (111) для последующей имплементации в симуляторы полупроводниковых приборов. Состоятельность подхода доказана сопоставлением данных моделирования по упрощенным формулам с точными расчетами и экспериментальными данными. Подход применим для вычисления туннельных токов в структурах с любыми кристаллическими диэлектриками на Si (111).
- M. Watanabe, Y. Iketani, M. Asada. Jpn. J. Appl. Phys., 39, L964 (2000)
- M. Watanabe, T. Funayama, T. Teraji, N. Sakamaki. Jpn. J. Appl. Phys., 39, L716 (2000)
- T. Waho, F. Yanagawa. IEEE Electron. Dev. Lett., 9, 548 (1988)
- М.И. Векслер, Ю.Ю. Илларионов, С.М. Сутурин, В.В. Федоров, Н.С. Соколов. ФТТ, 52 (11), 2205 (2010)
- Yu.Yu. Illarionov, M.I. Vexler, S.M. Suturin, V.V. Fedorov, N.S. Sokolov, K. Tsutsui, K. Takahashi. Microelectron. Eng., 88 (7), 1291 (2011)
- М.И. Векслер, С.Э. Тягинов, Ю.Ю. Илларионов, Yew Kwang Sing, Ang Diing Shenp, В.В. Федоров, Д.В. Исаков. ФТП, 47 (5), 675 (2013)
- M. Depas, B. Vermeire, P.W. Mertens, R.L. Van Meirhaeghe, M.M. Heyns. Sol. St. Electron., 38 (8), 1465 (1995)
- MINIMOS-NT User's Guide (Institute for Microelectronics, TU Wien, Austria)
- М.И. Векслер, С.Э. Тягинов, А.Ф. Шулекин, И.В. Грехов. ФТП, 40 (9), 1137 (2006)
- A. Schenk. Advanced Physical Models for Silicon Device Simulations (Springer, Wien-N.Y., 1998) chap.5
- C. Jungemann, B. Meinerzhagen. Hierarchical Device Simulation (Springer, Wien-N.Y., 2003)
- С.Э. Тягинов, Д.С. Осинцев, Ю.Ю. Илларионов, J.M. Park, H. Enichlmair, М.И. Векслер, T. Grasser. Тез. докл. XI РКФП (СПб., 2013) c. 441
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.