"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Образование и отжиг метастабильных комплексов межузельный кислород-межузельный углерод в кремнии n- и p-типа
Макаренко Л.Ф.1, Коршунов Ф.П.2, Ластовский С.Б.2, Мурин Л.И.2, Молл М.3, Пинтилие И.4
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
2Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
3C PH-DT, ЦЕРН, Женева, Швейцария
4Национальный институт физики материалов, RO Магурел, Бухарест, Румыния
Поступила в редакцию: 1 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.

Экспериментально показано, что в отличие от стабильной конфигурации комплекса (межузельный углерод-межузельный кислород) (CiOi) его метастабильная конфигурация (CiOi*) не может быть обнаружена в кремниевых p+-n-структурах методом емкостной спектроскопии. Скорости перестройки CiOi*->CiOi практически одинаковы в кремнии n- и p-типа с концентрацией носителей заряда менее 1013 см-3. Установлено, что вероятности одновременного формирования стабильной и метастабильной конфигураций исследуемого комплекса при присоединении атома межузельного углерода к атому межузельного кислорода близки к 50%. Это объясняется ориентационной зависимостью потенциала взаимодействия атома межузельного кислорода с диффундирующим к нему атомом межузельного углерода.
  1. G. Davies, R.C. Newman. In: Handbook on Semiconductors, ed. by T.S. Moss (Amsterdam, Elsevier Science, 1994), v. 3b, 1557 (1994)
  2. L.C. Kimerling, V.N. Asom, J.L. Benton, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. Mater. Sci. Forum, 38--41, 141 (1989)
  3. L.I. Khirunenko, M.G. Sosnin, Yu.V. Pomozov, L.I. Murin, V.P. Markevich, A.R. Peaker, L.M. Almeida, J. Coutinho, V.J.B. Torres. Phys. Rev. B, 78, 155 203 (2008)
  4. Kh.A. Abdullin, B.N. Mukashev, M.F. Tamendarov, T.B. Tashenov. Phys. Lett. A, 144, 198 (1990)
  5. П.В. Кучинский, В.М. Ломако, А.П. Петрунин. ФТП, 23, 1625 (1989)
  6. K. Shinoda, E. Ohta. Appl. Phys. Lett., 61, 2691 (1992)
  7. A.R. Frederickson, A.S. Karakashian, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. J. Appl. Phys., 65, 3272 (1989)
  8. P.M. Mooney, L.J. Cheng, M. Suli, J.D. Gerson, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 15, 3836 (1977)
  9. J. Coutinho, V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, B.J. Svensson, M.J. Rayson, P.R. Briddon. Phys. Rev. B, 86, 174 101 (2012)
  10. L.F. Makarenko, F.P. Korshunov, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, M. Moll. Sol. St. Phenomena, 156--158, 155 (2010)
  11. A. Nylandsted Larsen, H.J. Pedersen, M.C. Petersen, V. Privitera, Y. Gurimskaya, A. Mesli. J. Appl. Phys., 114, 223 706 (2013)
  12. A.A. Istratov, H. Hieslmair, C. Flink, E.R. Weber. Rev. Sci. Instrum., 69, 244 (1998)
  13. Л.Ф. Макаренко, Ф.П. Коршунов, С.Б. Ластовский, Л.И. Мурин. Докл. НАН Беларуси, 51 (5), 52 (2007)
  14. A. Hallen, N. Keskitalo, F. Masszi, V. Nagl. J. Appl. Phys., 79, 3906 (1996)
  15. M. Moll. PhD thesis (Hamburg, University of Hamburg, 1999) ISSN 1435--8085
  16. B. Schmidt, V. Eremin, A. Ivanov, N. Strokan, E. Verbitskaya, Z. Li. J. Appl. Phys., 76, 4072 (1994)
  17. P. Norton, T. Braggins, H. Levinstein. Phys. Rev. B, 8, 5632 (1973)
  18. G. Davies. Mater. Sci. Forum, 38--41, 151 (1989).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.