"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование постростового процесса изготовления квантовых каскадных лазеров
Мамутин В.В.1, Ильинская Н.Д.1, Бедарев Д.А.1, Левин Р.В.1, Пушный Б.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.

Исследован процесс специальной постростовой обработки структур для квантовых каскадных лазеров, включающий в себя заращивание высокоомным материалом --- фосфидом индия с концентрацией носителей n~5·1010 см-3, фотолитографию с применением различных химических жидкостных травителей и создание специальных контактов для обеспечения повышенного теплоотвода. Использование модифицированного процесса постростовой обработки позволяет достичь необходимых параметров, удовлетворяющих требования к высококачественным приборам.
  1. Р.Ф. Казаринов, Р.А. Сурис. ФТП, 5, 797 (1971)
  2. J. Faist, F. Capasso, D.L. Sivco, C. Sirtori, A.L. Hutchinson, A.Y. Cho. Science, 264, 553 (1994)
  3. C. Gmachl, F. Capasso, D.L. Sivco, A.Y. Cho. Rep. Progr. Phys., 64, 1533 (2001)
  4. A. Tahraoui, A. Matlis, S. Slivken, J. Diaz, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 78, 416 (2001)
  5. L. Ajili, G. Scalari, J. Faist, H. Beer, E. Linfield, D. Ritchie, G. Davies. Appl. Phys. Lett., 85, 3986 (2004)
  6. J. Faist, V. Beck, T. Aellen. Appl. Phys. Lett., 78, 147 (2001)
  7. D. Hofstetter, M. Beck, T. Aellen, J. Faist, U. Oesterle, M. Ilegems, E. Gini, H. Melchior. Appl. Phys. Lett., 78, 1964 (2001)
  8. В.В. Мамутин, В.М. Устинов, J. Boetthcher, H. Kuenzel. ФТП, 44, 995 (2010)
  9. A. Tsekoun, R. Go, M. Pushkarsky, M. Razeghi, C.K.N. Patel. PNAS (Proc. Nat. Acad. Sci. USA), 103, 4831 (2006)
  10. A. Evans, S.R. Darvish, S. Slivken, J. Nguyen, Y. Bai, M. Razeghy. Appl. Phys. Lett., 91, 071 101 (2007); M. Chashnikova, G. Monastyrskyi, A. Aleksandrova, M. Klinkmuller, M.P. Semtsiv, W.T. Masselink. Appl. Phys. Lett., 100, 213 504 (2012)
  11. В.В. Мамутин, Н.Д. Ильинская, Б.В. Пушный, Р.В. Левин, Ю.М. Шерняков. Письма ЖТФ, 39, 32 (2013)
  12. V.V. Mamutin, V.M. Ustinov, N.D. Ilyinskaya, M.V. Baydakova, B.Y. Ber, D.Y. Kasantsev. J. Phys.: Conf. Ser., 291, 012008 (2011)
  13. В.В. Мамутин, В.М. Устинов, J. Boetthcher, H. Kuenzel. Письма ЖТФ, 36 (9), 34 (2010)
  14. A. Bismuto, S. Riedi, B. Hinkov, M. Beck, J. Faist. Semicond. Sci. Technol., 27, 045 013 (2012)
  15. R. Blanchard, C. Grezes, S. Menzel, C. Pflu, L. Diehl, Y. Huang, Jae-Hyun Ryou, Russell D. Dupuis, Federico Capasso. Appl. Phys. Lett., 100, 033502 (2012)
  16. A. Bismuto, M. Beck, J. Faist. Appl. Phys. Lett., 98, 191 104 (2011)
  17. P. Fuchs, J. Semmel, J. Friedl, S. Hofling, J. Koeth. Appl. Phys. Lett., 98, 211 118 (2011)
  18. J.S. Yu, S. Slivken, S.R. Darvish, A. Evans, B. Gokden, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 87, 041 104 (2005)
  19. M.P. Semtsiv, M. Ziegler, S. Dressler, W.T. Masselink, N. Georgiev, T. Dekorsy, M. Helm. Appl. Phys. Lett., 85, 1478 (2004)
  20. A. Evans, J.S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 84, 314 (2004)
  21. A. Evans, S.R. Darvish, S. Slivken, J. Nguyen, Y. Bai, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 91, 071 101 (2007)
  22. Y. Bai, N. Bandyopadhyay, S. Tsao, E. Selcuk, S. Slivken, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 97, 251 104 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.