"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Изменение электрофизических свойств кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния под воздействием паров воды
Фастыковский П.П.1, Глауберман М.А.1
1Одесский национальный университет им. И.И. Мечникова, Одесса, Украина
Поступила в редакцию: 21 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2014 г.

Исследованы зависимости поверхностного потенциала и плотности поверхностных состояний кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния от влажности окружающей газовой среды. На основании модели влагочувствительности таких структур, находящихся в режимах обеднения и слабой инверсии, получено аналитическое выражение, связывающее поверхностных потенциал с влажностью, параметрами окисла, полупроводника и границы раздела окисле-полупроводник. Проведенные расчеты подтвердили справедливость этого выражения и позволили установить критерии линейности зависимости поверхностного потенциала от влажности. Исследованы зависимости поверхностного потенциала и плотности поверхностных состояний кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния от влажности окружающей газовой среды. На основании модели влагочувствительности таких структур, находящихся в режимах обеднения и слабой инверсии, получена аналитическая зависимость поверхностного потенциала от влажности и определены критерии ее линейности. Справедливость аналитической зависимости подтверждена экспериментально.
  1. P.P. Fastykovsky, A.A. Mogilnitsky. Sensors\&Actuators, B 57, 51 (1999)
  2. П.П. Фастыковский, М.А. Глауберман. Тр. 8-й Mеждунар. конф. "Современные информационные и электронные технологии" (Одесса, Украина, 2007) с. 324
  3. П.П. Фастыковский, А.А. Могильницкий, М.А. Глауберман, Н.Н. Майко. Фотоэлектроника, N 9, 133 (2000)
  4. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) кн. I, гл. 7
  5. P.K. Dubey, V.A. Filikov, J.G. Simmons. Thin Sol. Films, 33, 49 (1976)
  6. В.Ф. Киселев, О.В. Крылов. Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках и диэлектриках (М., Наука, 1979) гл. 5
  7. F. Uchikawa, K. Shimamoto. American Ceramic Soc. Bull, 64 (8), 1137 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.