"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование внутреннего трения и эффективного модуля сдвига монокристаллического кремния на начальных стадиях преципитации кислорода
Моцкин В.В.1, Олейнич-Лысюк А.В.1, Раранский Н.Д.1, Фодчук И.М.1
1Черновицкий национальный университет, Черновцы, Украина
Поступила в редакцию: 28 января 2002 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2002 г.

Исследовано изменение температурных спектров внутреннего трения и эффективного модуля сдвига в монокристаллическом кремнии в интервале 20-400oC в зависимости от времени отжига при 400oC. Показано, что в процессе отжига в спектрах поглощения появляются и увеличиваются, по мере выдержки, устойчивые максимумы, обусловленные миграцией точечных дефектов и их комплексов. Высказано предположение о возможной природе обнаруженных эффектов.
  1. К. Рейвик. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии (М., Мир, 1984)
  2. В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния (Ки -2.5ptIв Iнтерпрес ЛТД, 1997)
  3. U. Goselle, T.Y. Appl. Phys. A, 28 (1), 79 (1982)
  4. Метод внутреннего трения в металловедческих исследованиях. Справочник (под ред. М.С. Блантера, Ю.В. Пигузова). (М., Металлургия, 1991)
  5. И.А. Варус, Б.Г. Стронгин. В кн.: Демпфирующие металлические материалы (Киров, КПИ, 1988) с. 96
  6. В.С. Постников. Внутреннее трение в металлах (М., Металлургия, 1974)
  7. B.Pajot, H.Compain, J. Lerouille, B. Clerjaud. Physica B+C, 117--118, 110 (1983)
  8. Л.И. Мурин, В.П. Маркевич. ФТП, 22 (7), 1324 (1988)
  9. И.Д. Козоненко, А.К. Семенюк, В.И. Хиврич. Радиационные эффекты в кремнии (Киев, Наук. думка, 1974)
  10. Л.Н. Александров, М.И. Зотов, Б.П. Сурин. В сб.: Физика и химия конденсированных сред (Воронеж, ВПИ, 1981) с. 14

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.