"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Механизм диффузии Cu вдоль поверхности Si(110)
Долбак А.Е.1, Жачук Р.А.1, Ольшанецкий Б.З.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 23 января 2002 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2002 г.

Методами электронной оже-спектроскопии и дифракции медленных электронов исследован механизм диффузии Cu вдоль атомарно-чистой поверхности кремния (110) в диапазоне температур 500-650oC. Показано, что перенос меди вдоль поверхности кремния осуществляется путем ее диффузии через объем кремния и сегрегации атомов меди на поверхность в процессе диффузии. Получены зависимости эффективных коэффициентов диффузии Cu вдоль поверхности Si(110) от температуры. Проводится сравнение результатов, полученных на поверхностях Si(110) с результатами, полученными ранее на поверхности Si(111).
  1. А.Е. Долбак, Р.А. Жачук, Б.З. Ольшанецкий. ФТП 35, 1063 (2001)
  2. E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan, J.M. Layet. Surf. Sci., 154, 267 (1985)
  3. M. Mundschau, E. Bauer, W. Telieps, W. Swiech. J. Appl. Phys., 65, 4747 (1989)
  4. S.A. Chambers, J.H. Weaver. J. Vac. Sci. Technol. A, 3, 1929 (1985)
  5. L. Calliari, F. Marchetti, M. Sancrotti. Phys. Rev. B, 4, 521 (1986)
  6. H. Dallaporta, A. Cross. Surf. Sci., 178, 64 (1986)
  7. R.J. Wilson, S. Chiang, F. Salvan. Phys. Rev. B, 38, 12 696 (1988)
  8. D.D. Chamblis, T.N. Rhodin. Phys. Rev. B, 42, 1674 (1990)
  9. J. Nichols, F. Salvan, B. Reihl. Phys. Rev. B, 34, 2945 (1986)
  10. T.Ikeda, Y. Kawashima, H. Itoh, T. Ichinokawa. Surf. Sci., 342, 11 (1995)
  11. A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.I. Stenin, S.A. Teys, T.A. Gavrilova. Surf. Sci., 218, 37 (1989)
  12. P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Weber, N.C. Mac-Donnald. Handbook of Auger Electron Spectroscopy [Phys. Elec. Ind. Inc.] (Minnesota, 1972)
  13. Eicke R. Weber. Appl. Phys. A, 30, 1 (1983)
  14. Andrei A. Istratov, Ch. Flink, H. Hieslmair, Eicke R. Weber. Phys. Rev. Lett., 81, 1243 (1998)
  15. A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.A. Teys. Phys. Low-Dim. Structur., 11 / 12, 41 (1999)
  16. M.Y. Lee, P.A. Bennett. Phys. Rev. Lett., 75, 4460 (1995)
  17. A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, R.A. Zhachuk. Phys. Low-Dim. Structur., 9/ 10, 97 (1998)
  18. А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий, С.А. Тийс, Р.А. Жачук. Письма ЖЭТФ, 66, 611 (1997)
  19. А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий, С.А. Тийс. Письма ЖЭТФ, 69, 423 (1999)
  20. A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.A. Teys. Surf. Sci., 373, 43 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.