Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Механизм диффузии Cu вдоль поверхности Si(110)
Долбак А.Е.1, Жачук Р.А.1, Ольшанецкий Б.З.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 
Поступила в редакцию: 23 января 2002 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2002 г.
Методами электронной оже-спектроскопии и дифракции медленных электронов исследован механизм диффузии Cu вдоль атомарно-чистой поверхности кремния (110) в диапазоне температур 500-650oC. Показано, что перенос меди вдоль поверхности кремния осуществляется путем ее диффузии через объем кремния и сегрегации атомов меди на поверхность в процессе диффузии. Получены зависимости эффективных коэффициентов диффузии Cu вдоль поверхности Si(110) от температуры. Проводится сравнение результатов, полученных на поверхностях Si(110) с результатами, полученными ранее на поверхности Si(111).
- А.Е. Долбак, Р.А. Жачук, Б.З. Ольшанецкий. ФТП 35, 1063 (2001)
- E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan, J.M. Layet. Surf. Sci., 154, 267 (1985)
- M. Mundschau, E. Bauer, W. Telieps, W. Swiech. J. Appl. Phys., 65, 4747 (1989)
- S.A. Chambers, J.H. Weaver. J. Vac. Sci. Technol. A, 3, 1929 (1985)
- L. Calliari, F. Marchetti, M. Sancrotti. Phys. Rev. B, 4, 521 (1986)
- H. Dallaporta, A. Cross. Surf. Sci., 178, 64 (1986)
- R.J. Wilson, S. Chiang, F. Salvan. Phys. Rev. B, 38, 12 696 (1988)
- D.D. Chamblis, T.N. Rhodin. Phys. Rev. B, 42, 1674 (1990)
- J. Nichols, F. Salvan, B. Reihl. Phys. Rev. B, 34, 2945 (1986)
- T.Ikeda, Y. Kawashima, H. Itoh, T. Ichinokawa. Surf. Sci., 342, 11 (1995)
- A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.I. Stenin, S.A. Teys, T.A. Gavrilova. Surf. Sci., 218, 37 (1989)
- P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Weber, N.C. Mac-Donnald. Handbook of Auger Electron Spectroscopy [Phys. Elec. Ind. Inc.] (Minnesota, 1972)
- Eicke R. Weber. Appl. Phys. A, 30, 1 (1983)
- Andrei A. Istratov, Ch. Flink, H. Hieslmair, Eicke R. Weber. Phys. Rev. Lett., 81, 1243 (1998)
- A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.A. Teys. Phys. Low-Dim. Structur., 11 / 12, 41 (1999)
- M.Y. Lee, P.A. Bennett. Phys. Rev. Lett., 75, 4460 (1995)
- A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, R.A. Zhachuk. Phys. Low-Dim. Structur., 9/ 10, 97 (1998)
- А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий, С.А. Тийс, Р.А. Жачук. Письма ЖЭТФ, 66, 611 (1997)
- А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий, С.А. Тийс. Письма ЖЭТФ, 69, 423 (1999)
- A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.A. Teys. Surf. Sci., 373, 43 (1997)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
