"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Получение и свойства пленок аморфного гидрогенизированного карбида бора
Ананьев А.С.1, Коньков О.И.1, Лебедев В.М.2, Новохацкий А.Н.1, Теруков Е.И.1, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Поступила в редакцию: 5 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2002 г.

Пленки карбида бора получены разложением в плазме высокочастотного тлеющего разряда продуктов сублимации порошка C2B10H12. Состав пленок исследовался с помощью методов ядерных реакций и инфракрасной спектроскопии. Показано, что состав пленок слабо изменялся в зависимости от типа рабочего газа (Ar, He) и температуры подложки (20-100oC) и определялся формулой a-B0.52C0.48 : H. Оптическая ширина запрещенной зоны составляла ~3.8 эВ, удельное сопротивление изменялось от 106 до 105 Ом · см с возрастанием температуры подложки. Наличие слабой фотолюминесценции с максимумом в области 475 нм свидетельствует о наличии акцепторного уровня в запрещенной зоне, что коррелирует с величиной энергии активации проводимости.
  1. K. Shirai, S. Emura, S. Gonda, Y. Kumashiro. J. Appl. Phys., 78 (5), 3392 (1995)
  2. K. Shirai, S. Ae, S. Gonda. Boron-Rich Solids. Proc. 10th Int. Symp. Boron, Borides and Related Compounds, ed. by H. Werheit (1987) p. 336
  3. B. Silvester, Shu-Han Lin, B.J. Feldman. Sol. St. Commun., 93, 969 (1995)
  4. J. Ristein, R.T. Steif, L. Ley. J. Appl. Phys., 87, 3836 (1998)
  5. V.M. Sharapov, V.E. Golant, V.K. Gusev, A.N. Novokhatski. J. Nucl. Mater., 220--222, 730 (1995)
  6. V.K. Gusev, V.E. Golant, E.Z. Gusakov, V.V. D'yachenko, M.A. Irzak, V.B. Minaev, E.E. Mukhin, A.N. Novokhatski, K.A. Podushnikova, G.T. Razdobarin, N.V. Sakharov, E.N. Tregubova, V.S. Uzlov, O.N. Shcherbinin, V.A. Belyakov. Techn. Phys., 44, 1054 (1999)
  7. V.K. Gusev, S.V. Alexandrov, T.A. Burtseva, I.N. Chugunov, A.V. Dech, G.A. Gavrilov, V.E. Golant, Yu.A. Kostrov, S.V. Krikunov, E.A. Kuznetsov, R.G. Levin, V.B. Minaev, A.B. Mineev, O.A. Minyaev, E.E. Mukhin, A.N. Novokhatski, Yu.V. Petrov, K.A. Podushnikova, E.N. Rumyantsev, N.V. Saharov, V.V. Semenov, V.M. Sharapov, G.Yu. Sotnikova, V.S. Uzlov, V.I. Vasiliev, M.I. Viljunas, V.A. Yagnov. Proc. 18th Fusion Energy Conf. (Sorrento, 2000) paper EXP01/03
  8. H. Stein, T. Aselage, D. Emin. Boron-Rich Solids. Proc. 10th Int. Symp. Boron, Borides and Related Compounds, ed. by H. Werheit (1987) p. 322
  9. Shu-Han Lin, B.J. Feldman. Sol. St. Commun., 107, 239 (1998)
  10. N.A. Blum, C. Feldman, F.G. Satkiewicz. Phys. St. Sol. (a), 41, 481 (1977)
  11. G. Giorginis, L. Persson, M. Hult, A. Crametz, E. Lugscheider, C.W. Siry. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 136--138, 258 (1998)
  12. О.И. Коньков, Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова. ФТП, 30, 2183 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.