"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Изменение условий собирания примесей после долговременных отжигов
Быковский Ю.А.1, Воронкова Г.М.1, Григорьев В.В.1, Зуев В.В.1, Зуев А.В.1, Кирюхин А.Д.1, Чмырев В.И.2, Щербаков С.А.3
1Московский государственный инженерно-физический институт (технический университет), Москва, Россия
2Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, Москва, Россия
3Институт микропроцессорных вычислительных систем Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 21 ноября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2002 г.

Экспериментально показано изменение условий собирания примесей после долговременных отжигов, предшествующих диффузии примесных атомов. В качестве метки этих изменений используется золото в акцепторном состоянии, влияющее на величину удельного сопротивления и время релаксации фотопроводимости.
  • J.M.Hwang, D.K. Schroder. J. Appl. Phys., 59, 2476 (1986)
  • V. Raineri, P.G. Fallica, G. Percolla, A. Battaglia, M. Barbagallo, S.U. Campisano. J. Appl. Phys., 78, 3727 (1995)
  • Ю.А. Быковский, В.В. Зуев, А.Д. Кирюхин, К.В. Колосов, С.И. Расмагин. ЖТФ. 69 (4), 54 (1999)
  • W. Lerch, N.A. Stolwijk. J. Appl. Phys., 83, 1312 (1998)
  • J.S. Kang, D.K. Schroder. J. Appl. Phys., 65, 2974 (1989)
  • Ю.А. Быковский, В.В. Зуев, А.Д. Кирюхин, Э.А. Маныкин. Письма ЖТФ, 9 (6), 9 (1983)
  • А.Г. Никитин, В.В. Зуев. ФТП, 27, 1211 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.