Представлены результаты исследования влияния параметров процесса термического газофазного осаждения на фазовый состав алмазных пленок, выращенных на кремниевой подложке. Найден режим роста, отвечающий наибольшему содержанию в пленках алмазной фазы при скорости роста ~ 1 мкм/ч.
J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
S. Shikata. MRS Bulletin, 23 (9), 61 (1998)
V. Malcher, A. Kromka, J. Janik, V. Dubravcova, P. Vogrincic. Acta Physica Slovaca, 50, 673 (2000)
A. Sawabe, T. Inuzuka. Appl. Phys. Lett., 46, 146 (1985)
X.C. He, H.S. Shen, Z.M. Zhang, X.J. Hu, Y.Z. Wan, T. Shen. Diamond Relat. Mater., 9, 1626 (2000)
A.M. Stoneham, I.J. Ford, P.R. Chalker. MRS Bulletin, 23 (9), 28 (1998)
C. Arnault, L. Demuynck, C. Speisser, F.L. Normand. Eur. Phys. J. B, 11, 327 (1999)
N.S. Xu, J. Chen, S.Z. Deng, K.H. Wu, E.G. Wang. J. Phys. D: Appl. Phys., 33, 1572 (2000)
Y. Chakk, R. Brener, A. Hoffman. Appl. Phys. Lett., 66, 2819 (1995)
H. Makita, K. Nishimura, N. Jiang, A. Hatta, T. Ito, A. Hiraki. Thin Sol. Films, 281, 279 (1996)
P. Ascarelli, S. Fontana. Appl. Surf. Sci., 64 (4), 307 (1993)
B.R. Stoner, G.-H.M. Ma, S.D. Wolter, J.T. Glass. Phys. Rev. B, 45, 11 067 (1992)
D.-W. Kweon, J.-Y. Lee, D. Kim. J. Appl. Phys., 69, 8329 (1991)
K.E. Spear, M. Frenklach. Synthetic diamond: Emerging CVD science and technology, ed. by K.E. Spear, J.P. Dismukes (N. Y., John Wiley and Sons, Inc., 1994) p. 243
A.K. Skider, A.P. Jacob, T. Sharda, D.S. Misra, M. Pandey, D. Kabriraj, D.K. Avasthi. Thin Sol. Films, 32, 98 (1998)
S. Logothetidis. Appl. Phys. Lett., 69, 158 (1996)
R.G. Buckley, T.D. Moustakas, L. Ye, J. Varon. J. Appl. Phys., 66, 3595 (1989)
L. Bergman, R.J. Nemanich. J. Appl. Phys., 78, 6709 (1995)
Powder Diffraction File 6-675 (USA, International Center for Diffraction Data, 1991) [Joint Committee on Powder Diffraction Standards, International Center for Diffraction Data, Swarthmore, PA, USA]
H. Windischmann, K.J. Gray, Diamond Relat. Mater., 4, 837 (1995)
V.I. Konov, A.A. Smolin, V.G. Ralchenko, S.M. Pimenov, E.D. Obraztsova, E.N. Loubnin, S.M. Metev, G. Sepold. Diamond Relat. Mater., 4, 1073 (1995)
P. Keblinski, D. Wolf, F. Cleri, S.R. Phillpot, H. Gleiter. MRS Bulletin, 23 (9), 36 (1998)
© 2018 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук