Комбинированная методика исследования многокомпонентных спектров фотоотражения полупроводников
Кузьменко Р.В.1, Ганжа А.В.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 26 апреля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.
Предлагается новая методика комбинированного исследования многокомпонентных спектров фотоотражения полупроводников, включающая в себя измерение спектров при изменении плотности и длины волны лазерного возбуждения в комбинации с фазовым анализом спектра. Эффективность методики показана на примере анализа многокомпонентного спектра фотоотражения пассивированного гомоэпитаксиального образца Si3N4/n-GaAs/n+-GaAs.
- J.M.A. Gilman, A. Hamnett, R.A. Batchelor. Phys. Rev. B, 46, 13 363 (1992)
- O.J. Glembocki, N. Bottka, J.E. Furneaux. J. Appl. Phys., 57 (2), 432 (1985)
- E.G. Seebauer. J. Appl. Phys., 66, 4963 (1989)
- Р. Кузьменко, А. Ганжа, Й. Шрайбер, С. Хильдебрандт. ФТТ, 39, 2123 (1997)
- А.В. Гаржа, В. Кирхер, Р.В. Кузьменко, Й. Шрайбер, С. Хильдебрандт. ФТП, 32, 272 (1998)
- M. Sydor, A. Badakhshan, J.R. Engholm, D.A. Dale. Appl. Phys. Lett., 58, 948 (1991)
- Y. Mochizuki, T. Ishii, M. Mizuta. Japan. J. Appl. Phys., pt 1, 34, 6106 (1995)
- R.E. Nahory, J.L. Shay. Phys. Rev. Lett., 21, 1569 (1968)
- R. Ditchfield, D. Llera-Rodriguez, E.G. Seebauer. Phys. Rev. B, 61, 13 710 (2000)
- E.R. Wagner, A. Manselis. Phys. Rev. B, 50, 14 228 (1994)
- S. Hildebrandt, M. Murtagh, R. Kusmenko, W. Kircher, G.M. Crean, J. Schreiber. Phys. St. Sol. (a), 152, 147 (1995)
- Р.В. Кузьменко, А.В. Ганжа, Э.П. Домашевская. Опт. и спектр., 89, 601 (2000)
- Р.В. Кузьменко, А.В. Ганжа, О.В. Бочурова, Э.П. Домашевская, Й. Шрайбер, С. Хильдебрандт, Ш. Мо, Э. Пайнер, А. Шлахетцкий. ФТП, 34, 73 (2000)
- Р. Кузьменко, А. Ганжа, Э.П. Домашевская, В. Кирхер, Ш. Хильдебрандт. ФТП, 34, 1086 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.