"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Комбинированная методика исследования многокомпонентных спектров фотоотражения полупроводников
Кузьменко Р.В.1, Ганжа А.В.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 26 апреля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.

Предлагается новая методика комбинированного исследования многокомпонентных спектров фотоотражения полупроводников, включающая в себя измерение спектров при изменении плотности и длины волны лазерного возбуждения в комбинации с фазовым анализом спектра. Эффективность методики показана на примере анализа многокомпонентного спектра фотоотражения пассивированного гомоэпитаксиального образца Si3N4/n-GaAs/n+-GaAs.
  1. J.M.A. Gilman, A. Hamnett, R.A. Batchelor. Phys. Rev. B, 46, 13 363 (1992)
  2. O.J. Glembocki, N. Bottka, J.E. Furneaux. J. Appl. Phys., 57 (2), 432 (1985)
  3. E.G. Seebauer. J. Appl. Phys., 66, 4963 (1989)
  4. Р. Кузьменко, А. Ганжа, Й. Шрайбер, С. Хильдебрандт. ФТТ, 39, 2123 (1997)
  5. А.В. Гаржа, В. Кирхер, Р.В. Кузьменко, Й. Шрайбер, С. Хильдебрандт. ФТП, 32, 272 (1998)
  6. M. Sydor, A. Badakhshan, J.R. Engholm, D.A. Dale. Appl. Phys. Lett., 58, 948 (1991)
  7. Y. Mochizuki, T. Ishii, M. Mizuta. Japan. J. Appl. Phys., pt 1, 34, 6106 (1995)
  8. R.E. Nahory, J.L. Shay. Phys. Rev. Lett., 21, 1569 (1968)
  9. R. Ditchfield, D. Llera-Rodriguez, E.G. Seebauer. Phys. Rev. B, 61, 13 710 (2000)
  10. E.R. Wagner, A. Manselis. Phys. Rev. B, 50, 14 228 (1994)
  11. S. Hildebrandt, M. Murtagh, R. Kusmenko, W. Kircher, G.M. Crean, J. Schreiber. Phys. St. Sol. (a), 152, 147 (1995)
  12. Р.В. Кузьменко, А.В. Ганжа, Э.П. Домашевская. Опт. и спектр., 89, 601 (2000)
  13. Р.В. Кузьменко, А.В. Ганжа, О.В. Бочурова, Э.П. Домашевская, Й. Шрайбер, С. Хильдебрандт, Ш. Мо, Э. Пайнер, А. Шлахетцкий. ФТП, 34, 73 (2000)
  14. Р. Кузьменко, А. Ганжа, Э.П. Домашевская, В. Кирхер, Ш. Хильдебрандт. ФТП, 34, 1086 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.