InGaAs/GaAs/InGaP-лазеры с широким контактом, полученные методом МОС-гидридной эпитаксии
Винокуров Д.А.1, Капитонов В.А.1, Николаев Д.Н.1, Станкевич А.Л.1, Лютецкий А.В.1, Пихтин Н.А.1, Слипченко С.О.1, Соколова З.Н.1, Фетисова Н.В.1, Арсентьев И.Н.1, Тарасов И.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2001 г.
Разработана технология газофазной эпитаксии из металлорганических соединений (МОС-гидридной эпитаксии) лазерных гетероструктур в системе твердых растворов InGaP/GaAs/InGaAs на модифицированной установке Epiquip VP-50-RP. Изготовлены меза-полосковые лазерные диоды с пороговыми плотностями тока Jth=100-200 A/cм2, внутренними оптическими потерями alphai=1.3-1.7 см-1 и внутренним квантовым выходом etai=60-70%. Получена в непрерывном режиме генерации оптическая мощность излучения 5 Вт для лазерного диода с апертурой 100 мкм на длине волны излучения 1.03 мкм. Показано, что использование волноводных AlGaAs-слоев, увеличивающих глубину потенциальной ямы активной области для электронов, ослабляет температурную чувствительность лазерных гетероструктур в температурном диапазоне 10-80oC.
- A.Al-Muhanna, L.J. Mawst, D. Botez, D.Z. Garbuzov, R.U. Martinelli, J.C. Connolly. Appl. Phys. Lett., 62, 2402 (1993)
- X. He, S. Srinivasan, S. Wilson, C. Mitchell, R. Patel. Electron. Lett., 34, 2126 (1998)
- D.A. Livshits, I.V. Kochnev, V.M. Lantratov, N.N. Ledentsov, T.A. Nalyot, I.S. Tarasov, Zh.I. Alferov. Electron. Lett., 36, 1848 (2000)
- Д.А. Лившиц, А.Ю. Егоров, И.В. Кочнев, В.А. Капитонов, В.М. Лантратов, Н.Н. Леденцов, Т.А. Налет, И.С. Тарасов. ФТП, 35 (3), 380 (2001)
- J.K. Wade, L.J. Mawst, D. Botez, J.A. Morris. Electron. Lett., 34, 1100 (1998)
- S.L. Chuang. Phys. Rev. B, 43, 9649 (1991)
- S. Adachi. Physical Properties of 3--5 Semiconductor Compounds (John Wiley \& Sons Inc., 1992)
- K.H. Park, J.K. Lee, D.H. Jang, H.S. Cho, C.S. Park, K.E. Pyun, J.Y. Jeong, S. Nahm, J. Jeong. Appl. Phys. Lett., 73, 2567 (1998)
- В.П. Евтихиев, Д.З. Гарбузов, З.Н. Соколова, И.С. Тарасов. В.Б. Халфин, В.П. Чалый, А.В. Чудинов. ФТП, 19 (8), 1420 (1985)
- Е.Г. Голикова, В.А. Курешов, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, Н.А. Пихтин, Ю.А. Рябоштан, Г.А. Скрынников, И.С. Тарасов, Ж.И. Алфёров. ФТП, 34 (7), 886 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.