"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Диффузия Cu по чистой поверхности Si(111)
Долбак А.Е.1, Жачук Р.А.1, Ольшанецкий Б.З.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 14 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.

Методами электронной оже-спектроскопии и дифракции медленных электронов исследована диффузия Cu по атомарно-чистой поверхности Si(111). Установлено, что в результате диффузии на поверхности кремния образуются концентрационные распределения меди с резкой границей и формируется поверхностная фаза Si(111)-"5x5"-Сu. Показано, что процесс переноса меди по поверхности Si(111) происходит путем твердофазного растекания, известного как механизм "развертывающегося ковра". Получена зависимость коэффициента поверхностной диффузии Cu на поверхности Si(111) от температуры, которая имеет вид DCu=104exp(-1.9/kT) см2/c.
  1. A.G. Naumovets, Yu.S. Vedula. Surf. Sci. Rep., 4, 365 (1984)
  2. Я.Е. Гегузин. В сб.: Поверхностная диффузия и растекание, под ред. Я.Е. Гегузина (М., Наука, 1969) с. 11
  3. Ю.С. Ведула, А.Т. Лобурец, А.Г. Наумовец. ЖЭТФ, 77, 773 (1979)
  4. Ю.Л. Гаврилюк, В.Г. Лифшиц. Поверхность, 4, 143 (1983)
  5. Ю.Л. Гаврилюк, В.Г. Лифшиц. Поверхность, 4, 82 (1983)
  6. A.E. Dolbak, B.Z. Olshanetsky, S.I. Stenin, S.A. Teys. Surf. Sci., 218, 37 (1989)
  7. А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий, С.А. Тийс. Поверхность, 11, 29 (1996)
  8. M.Y. Lee, P.A. Bennett. Phys. Rev. Lett., 75, 4460 (1995)
  9. E. Daugy, P. Mathiez, F. Salvan, J.M. Layet. Surf. Sci., 154, 267 (1985)
  10. M. Mundschau, E. Bauer, W. Telieps, W. Swiech. J. Appl. Phys., 65, 4747 (1989)
  11. S.A. Chambers, J.H. Weaver. J. Vac. Sci. Technol. A, 3, 1929 (1985)
  12. L. Calliari, F. Marchetti, M. Sancrotti. Phys. Rev. B, 34, 521 (1986)
  13. H. Dallaporta, A. Cross. Surf. Sci., 178, 64 (1986)
  14. R.J. Wilson, S. Chiang, F. Salvan. Phys. Rev. B, 38, 12 696 (1988)
  15. D.D. Chamblis, T.N. Rhodin. Phys. Rev. B, 42, 1674 (1990)
  16. J. Nichols, F. Salvan, B. Reihl. Phys. Rev. B, 34, 2945 (1986)
  17. A.A. Istratov, C. Flink, H. Hieslmair, Eicke R. Weber. Phys. Rev. Lett., 81, 1243 (1998)
  18. P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Weber, N.C. Mac-Donnald. Handbook of Auger Electron Spectroscopy (Phys. Elek. Ind. Inc., Minnesota, 1972)
  19. H.S. Carslaw, J.C. Jaeger. Conduction of Heat in Solids (Clarendon Press, Oxford, 1947) p. 71
  20. H. Fujita. J. Chem. Phys., 21, 700 (1953)
  21. T. Ikeda, Y. Kawashima, H. Itoh, T. Ichinokawa. Surf. Sci., 336, 76 (1995)
  22. Eicke R. Weber. Appl. Phys. A, 30, 1 (1983).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.