"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Микроскопия электростатических сил на сколах полупроводниковых лазерных диодов
Анкудинов А.В.1, Котельников Е.Ю.1, Канцельсон А.А.1, Евтихиев В.П.1, Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 декабря 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

Рассмотрены возможности метода микроскопии электростатических сил для изучения приборных полупроводниковых структур. На примере исследования сколов лазерного диода в системе GaAlAs/GaAs показано, что применение метода позволяет находить положение и протяженность n-p-перехода в лазерной структуре, профиль падения напряжения поперек слоев структуры, а также распределение инжектированных носителей в волноводе.
  • G. Binnig, Ch. Gerber, E. Stell, T.R. Albert, C.F. Quake. Europhys. Lett., 3, 1281 (1987)
  • P. Moriarty, G. Hughes. Ultramicroscopy, 42-- 44, 956 (1992)
  • A.V. Ankudinov, V.P. Evtikhiev, V.E. Tokranov, V.P. Ulin, A.N. Titkov. Semiconductors, 33, 555 (1999)
  • I. Suemune, M. Hoshiyama. Japan. J. Appl. Phys., 33, pt 1, 3748 (1994)
  • A.V. Ankudinov, A.N. Titkov, T.V. Shubina, S.V. Ivanov, P.S. Kop'ev, H.-J. Lugauer, G. Reuscher, M. Keim, A. Waag, G. Landwehr. Appl. Phys. Lett., 75, 2626 (1999)
  • G. Bratina, L. Vanzetti, A. Franciosi. Phys. Rev. B, 52, R8625 (1995)
  • C.C. Williams, J. Slinkman, W.P. Hough, H.K. Wickramasinghe. Appl. Phys. Lett., 55 1662 (1989)
  • V.V. Zavyalov, J.S. McMurray, C.C. Williams. Rev. Sci. Instrum., 70, 158 (1999)
  • Y. Martin, D.W. Abraham, H.K. Wickramasinghe. Appl. Phys. Lett., 52, 1103 (1988)
  • D. Sarid. Scanning Force Microscopy (N.Y., Oxford University Press, 1992)
  • B.D. Terris, J.E. Stern, D. Rugar, H.J. Mamin. Phys. Rev. Lett., 63, 2669 (1989)
  • H.J. Leamy. J. Appl. Phys., 53, R51 (1982)
  • С.Г. Конников, В.А. Соловьев, В.Е. Уманский, А.А. Хусаинов, В.М. Чистяков, И.Н. Яссиевич. ФТП, 21, 1648 (1987)
  • G. Leveque, P. Girard, E. Skouri, D. Yareka. Appl. Surf. Sci., 157, 251 (2000)
  • F. Robin, H. Jacobs, O. Homan, A. Stemmer, W. Bachtold. Appl. Phys. Lett., 76, 2907 (2000)
  • J.W. Hong, K.H. Noh, Sang-il Park, S.I. Kwun, Z.G. Khim. Phys. Rev. B, 58, 5078 (1998)
  • G.D. Wilk, Yi. Wei, Hal Edwards, R.M. Wallace. Appl. Phys. Lett., 70, 2288 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.