"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно-легированных газовых сенсорах
Рябцев С.В.1, Тутов Е.А.1, Бормонтов Е.Н.1, Шапошник А.В.1, Иванов А.В.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 29 ноября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.

Проведен анализ емкостного отклика полупроводниковых сенсоров на основе тонких пленок NiO и SnO2 с нанесенными на их поверхность наночастицами благородных металлов. Показано, что этот отклик появляется вследствие твердофазной реакции между металлом и полупроводником, сопровождающейся образованием пограничного слоя с достаточно высокой плотностью поверхностных электронных состояний. Наблюдаемый в емкостных газочувствительных сенсорах хемосорбционный эффект поля (изменение работы выхода металла при напуске газов) представляет собой не только чувствительный и оперативный метод анализа, но и основное фукнциональное явление, обусловливающее их емкостный отклик.
  1. С.В. Рябцев, А.В. Шапошник. Метод изготовления полупроводникового чувствительного элемента. Патент РФ N 2096775
  2. R. Huck, U. Bottger, D. Kohl, G. Heiland. Sens. Actuators, 17, 355 (1989)
  3. T.B. Fryberger, J.W. Erickson, S. Semancik. Surface and Interface Analysis, 14, 83 (1989)
  4. S.V. Ryabtsev. Proc. 13th Eur. Conf. on Solid State Tranducers "Eurosensors XIII" (Hague, Netherlands, 1999) p. 93
  5. W. Schottky. Naturwissenschaften, 26, 843 (1938)
  6. W.H. Brattain, J. Bardeen. Bell Syst. Techn., 32, 1 (1953)
  7. В.А. Гергель, Р.А. Сурис. ЖЭТФ, 84, 719 (1983)
  8. А.Н. Пономарев, В.Г. Приходько. ФТП, 20, 427 (1986)
  9. R.W. Clark, J.K. Tien, P. Wynblatt. Surface and Interface Analysis, 6, 5 (1980)
  10. E.E. Gutman, T.V. Belyscheva, S.V. Ryabtsev, F.H. Chibirova. Proc. Chemical Sensors --- 6 Int. Meeting (USA, Gaithersburg, 1999) p. 75
  11. E.V. Buzaneva, V.I. Strikha. Proc. IX IVC--VI CSS. Extended Abstracts (Madrid, 1983) p. 56
  12. В.Е. Примаченко, О.В. Снитко. Физика легированной металлами поверхности полупроводников (Киев. Наук. думка, 1988)
  13. Е.В. Бузанева, Г.В. Кузнецов, В.И. Стриха. Микроэлектроника, 15, 275 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.