"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние эрбия на электронные ловушки в структурах a-Si : H(Er)/c-Si, полученных методом плазмохимического осаждения
Лысенко В.С.1, Тягульский И.П.1, Осиюк И.Н.1, Назаров А.Н.1, Вовк Я.Н.1, Гоменюк Ю.В.1, Теруков Е.И.2, Коньков О.И.2
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 9 ноября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.

Впервые исследованы электрические свойства и характеристики дефектов верхней половины запрещенной зоны, образующихся при введении эрбия в аморфный гидрированный кремний a-Si : H(Er), полученный методом плазмохимического осаждения (PECVD).
  1. М.С. Бреслер, О.В. Гусев, Б.П. Захарченя, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков, В. Фус, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 38, 1189 (1996)
  2. Е.И. Теруков, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, О.Б. Гусев, Г. Вайзер. ФТП, 32, 987 (1998)
  3. О.Б. Гусев, М.С. Бреслер, Б.П. Захарченя, А.Н. Кузнецов, П.Е. Пак, Е.И. Теруков, К.Д. Цэндин, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 41, 210 (1999)
  4. Е.И. Теруков, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, К.В. Коугия, Ю.А. Никулин, А.Г. Казанский. ФТП, 34, 861 (2000)
  5. Y. Gobrecht, D. Hofman. J. Chem. Phys. Soc., 27, 509 (1966)
  6. G.F. Garlick, A.F. Gibson. Proc. Phys. Soc., 60, 574 (1948)
  7. J.T. Randall, M.N.F. Wilkins. Proc. Roy. Soc., A184, 366 (1945)
  8. R.A. Cresswell, M.M. Perlman. J. Appl. Phys., 41, 2365 (1970)
  9. S. Libertino, S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 78, 3867 (1995)
  10. J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling, D.C. Jacobson, Y.-H. Xie, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
  11. A.H.M. Shousha. Thin Sol. Films, 20, 33 (1974)
  12. V.S. Lysenko, T.N. Sytenko, V.I. Zimenko, I.P. Tyagulski, O.V. Snitko. Phys. St. Sol. (a), 59, 115 (1980)
  13. V.S. Lysenko, I.P. Tyagulski, Y.V. Gomeniuk, I.N. Osiyuk, I.I. Tkach. J. Phys. D: Appl. Phys., 31, 1499 (1998)
  14. V.S. Lysenko, T.N. Sytenko, V.I. Zimenko, O.V. Snitko. Phys. St. Sol. (a), 71, 619 (1982)
  15. S.D. Baranovskii, M. Zhy, T. Faber, F. Hensel, P. Thomas, M.B. von der Linltn, W.F. Van der Weg. Phys. Rev. B, 55, 16 226 (1997)
  16. В.В. Емцев, В.В. Емцев (мл.), Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек, Й. Михель, Л.С. Киммерлинг. ФТП, 33, 649 (1999)
  17. F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys., 78, 3874 (1995)
  18. В.Ф. Мастеров, Ф.С. Насреддинов, П.П. Серегин, М.М. Мездрогина, Е.И. Теруков. ФТП, 32, 68 (1998)
  19. J. Tauc. J. Non-Cryst. Sol., 97 \& 98, 149 (1987)
  20. V. Stutzman. Phil. Mag. B, 53, L15 (1986)
  21. H. Kida, T. Kumada, H. Okumoto, Y. Hamakawa. Sol. St. Commun., 59, 233 (1986)
  22. М.С. Бресслер, Т. Грегоркович, О.Б. Гусев, Н.А. Соболев, Е.И. Теруков, И.Н. Яссиевич, Б.П. Захарченя. ФТТ, 41, 851 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.