Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние эрбия на электронные ловушки в структурах a-Si : H(Er)/c-Si, полученных методом плазмохимического осаждения
Лысенко В.С.1, Тягульский И.П.1, Осиюк И.Н.1, Назаров А.Н.1, Вовк Я.Н.1, Гоменюк Ю.В.1, Теруков Е.И.2, Коньков О.И.2
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 9 ноября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.
Впервые исследованы электрические свойства и характеристики дефектов верхней половины запрещенной зоны, образующихся при введении эрбия в аморфный гидрированный кремний a-Si : H(Er), полученный методом плазмохимического осаждения (PECVD).
- М.С. Бреслер, О.В. Гусев, Б.П. Захарченя, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков, В. Фус, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 38, 1189 (1996)
- Е.И. Теруков, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, О.Б. Гусев, Г. Вайзер. ФТП, 32, 987 (1998)
- О.Б. Гусев, М.С. Бреслер, Б.П. Захарченя, А.Н. Кузнецов, П.Е. Пак, Е.И. Теруков, К.Д. Цэндин, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 41, 210 (1999)
- Е.И. Теруков, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, К.В. Коугия, Ю.А. Никулин, А.Г. Казанский. ФТП, 34, 861 (2000)
- Y. Gobrecht, D. Hofman. J. Chem. Phys. Soc., 27, 509 (1966)
- G.F. Garlick, A.F. Gibson. Proc. Phys. Soc., 60, 574 (1948)
- J.T. Randall, M.N.F. Wilkins. Proc. Roy. Soc., A184, 366 (1945)
- R.A. Cresswell, M.M. Perlman. J. Appl. Phys., 41, 2365 (1970)
- S. Libertino, S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 78, 3867 (1995)
- J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling, D.C. Jacobson, Y.-H. Xie, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
- A.H.M. Shousha. Thin Sol. Films, 20, 33 (1974)
- V.S. Lysenko, T.N. Sytenko, V.I. Zimenko, I.P. Tyagulski, O.V. Snitko. Phys. St. Sol. (a), 59, 115 (1980)
- V.S. Lysenko, I.P. Tyagulski, Y.V. Gomeniuk, I.N. Osiyuk, I.I. Tkach. J. Phys. D: Appl. Phys., 31, 1499 (1998)
- V.S. Lysenko, T.N. Sytenko, V.I. Zimenko, O.V. Snitko. Phys. St. Sol. (a), 71, 619 (1982)
- S.D. Baranovskii, M. Zhy, T. Faber, F. Hensel, P. Thomas, M.B. von der Linltn, W.F. Van der Weg. Phys. Rev. B, 55, 16 226 (1997)
- В.В. Емцев, В.В. Емцев (мл.), Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек, Й. Михель, Л.С. Киммерлинг. ФТП, 33, 649 (1999)
- F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys., 78, 3874 (1995)
- В.Ф. Мастеров, Ф.С. Насреддинов, П.П. Серегин, М.М. Мездрогина, Е.И. Теруков. ФТП, 32, 68 (1998)
- J. Tauc. J. Non-Cryst. Sol., 97 \& 98, 149 (1987)
- V. Stutzman. Phil. Mag. B, 53, L15 (1986)
- H. Kida, T. Kumada, H. Okumoto, Y. Hamakawa. Sol. St. Commun., 59, 233 (1986)
- М.С. Бресслер, Т. Грегоркович, О.Б. Гусев, Н.А. Соболев, Е.И. Теруков, И.Н. Яссиевич, Б.П. Захарченя. ФТТ, 41, 851 (1999)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
