"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование морфологии поверхности пленок аморфного гидрогенизированного углерода, модифицированного медью
Звонарева Т.К.1, Иванов-Омский В.И.1, Ястребов С.Г.1, Голубок А.О.2, Горбенко О.М.2, Розанов В.В.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.

Сообщается об исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии морфологии поверхности слоев аморфного гидрогенизированного (гидрированного) углерода, модифицированного медью, a-C : H(Cu). Описывается алгоритм математической обработки изображений и построения функции распределения продольной составляющей рельефа поверхности по размерам. Пленки a-C : H(Cu) наносились методом магнетронного сораспыления графита и меди на подложки двух типов: n-Si (100) с сильно легированным поверхностным слоем и Si с нанесенным слоем Cr. Обнаружена мезоскопическая структура поверхности кристаллического кремния, хромового слоя и пленки a-C : H(Cu). Рассмотрена корреляция элементов структуры подложек и пленки. Делается вывод о формировании гранул с характерными размерами 6-8 нм, присущими собственно пленке.
  1. J.C. Angus, P. Koidl, S. Domitz. In: Plasma Deposition Thin Films, ed. by J. Mort, F. Jansen (CRC Boca Raton, FL, 1986) chap. 4
  2. J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
  3. H. Tsai, D.B. Bogy. J. Vac. Sci. Technol. A, 5, 3287 (1987)
  4. G.A.J. Amaratunga, S.R.P. Silva. Appl. Phys. Lett., 68, 2529 (1996)
  5. А.О. Голубок, О.М. Горбенко, Т.К. Звонарева, С.А. Масалов, В.В. Розанов, С.Г. Ястребов, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (2), 223 (2000)
  6. В.И. Иванов-Омский, С.Г. Ястребов, А.О. Голубок, С.А. Масалов, В.В. Розанов. Письма ЖТФ, 24 (20), 28 (1998)
  7. О.М. Горбенко, С.А. Масалов, П.А. Фридман, Г.Э. Цырлин, А.О. Голубок. Научное приборостроение, 10 (1), 83 (2000)
  8. З.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств (М., Радио и связь, 1991)
  9. С.А. Ахманов, Ю.Е. Дьяков, А.С. Чиркин. Введение в статистическую радиофизику и оптику (М., Наука, 1981)
  10. Л.П. Байвель, А.С. Лагунов. Измерение и контроль дисперсности частиц методом светорассеяния под малыми углами (М., Энергия, 1977)
  11. M.V. Baidakova, V.I. Ivaniov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Suvorova, A.A. Sitnikova, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov. Proc. Int. Symp. Nanostructures and Technology (St. Petersburg, 1997) p. 383
  12. С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел (СПб., Наука, 1996)
  13. Т.К. Звонарева, В.И. Иванов-Омский, А.В. Нащекин, Л.В. Шаронова. ФТП, 34 (1), 96 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.