Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Оптические свойства пленок аморфного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита
Иванов-Омский В.И.1, Толмачев А.В.1, Ястребов С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 31 мая 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.
Методы эллипсометрии и спектрофотометрии в видимом и ближнем ультрафиолетовом диапазонах (1.5-5.6 эВ) применены для изучения термической стабильности аморфного углерода (a-C и a-C : H). С использованием анализа Крамерса-Кронига была получена и проанализирована диэлектрическая функция аморфного углерода. Показано, что применение существующих подходов к анализу полученных данных для образцов, подвергнутых термическому воздействию, не является достаточным. Проведен анализ формы края фундаментального поглощения с учетом коллективных явлений в наноразмерных фрагментах графитоподобной составляющей структуры аморфного углерода. Показано, что существует два типа графитоподобных кластеров, вносящих вклад в спектральную зависимость края собственного поглощения и претерпевающих модификацию при термическом воздействии.
- J.C. Angus, P. Koidl, S. Domitz. In: Plasma Deposited Thin Films, ed. by J. Mort, F. Jancen (CRC Boca Raton, FL, 1986) chap. 4
- J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
- H.-C. Tsai, D.B. Body. J. Vac. Sci. Technol., A5, 3287 (1987)
- J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35, 2946 (1987)
- D. Dasgupta, F. Demichelis, C.F. Pirri, A. Tagliaferro. Phys. Rev. B, 43 (3), 2131 (1991)
- F.W. Smith. J. Appl. Phys., 55, 764 (1984)
- V.I. Ivanov-Omskii, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov. Phil Mag. B, 73, 715 (1996)
- V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, A.V. Tolmatchev, T.K. Zvonariova, S.G. Yastrebov. Phil. Mag. B, 76, 973 (1997)
- D.R. Mc.Kenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cocayne. Thin Sol. Films, 108, 247 (1983)
- V.I. Ivanov-Omskii, A.B. Lodygin, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, S.G. Yastrebov, A.V. Tolmatchev. J. Chem. Vapor Dep., 5 (3), 198 (1997)
- J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. St. Sol., 15, 627 (1966)
- Н. Мотт, Э. Дэвис. Электронные процессы в некристаллических веществах (М., Мир, 1982)
- F.W. Smith. Mater. Sci. Forum, 52--53, 323 (1989)
- В.И. Иванов-Омский, Г.С. Фролова, С.Г. Ястребов. Письма ЖТФ, 23 (7), 1 (1997)
- V.I. Ivanov-Omskii, M.P. Korobkov, B.R. Namozov, E.A. Smorgonskaya, S.G. Yastrebov. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 627 (1998)
- I. Watanabe, T. Okumura. Japan. J. Appl. Phys., 25, 1851 (1986)
- B. Dischler, A. Budenze, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
- В.Л. Аверьянов, В.А. Федоров, С.Г. Ястребов. ЖТФ, 64 (1), 103 (1994)
- Т. Мосс. Оптические свойства полупроводников (М., Иностр. лит., 1961)
- S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 622 (1998)
- М. Дьюар. Теория молекулярных орбиталей в органической химии (М., Мир, 1972)
- H. Zabel, S.A. Solin. Graphite intercalation compounds II ( Transport and electronic properties) (Springer-Verlag, 1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
