"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Оптические свойства пленок аморфного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита
Иванов-Омский В.И.1, Толмачев А.В.1, Ястребов С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 31 мая 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.

Методы эллипсометрии и спектрофотометрии в видимом и ближнем ультрафиолетовом диапазонах (1.5-5.6 эВ) применены для изучения термической стабильности аморфного углерода (a-C и a-C : H). С использованием анализа Крамерса--Кронига была получена и проанализирована диэлектрическая функция аморфного углерода. Показано, что применение существующих подходов к анализу полученных данных для образцов, подвергнутых термическому воздействию, не является достаточным. Проведен анализ формы края фундаментального поглощения с учетом коллективных явлений в наноразмерных фрагментах графитоподобной составляющей структуры аморфного углерода. Показано, что существует два типа графитоподобных кластеров, вносящих вклад в спектральную зависимость края собственного поглощения и претерпевающих модификацию при термическом воздействии.
  1. J.C. Angus, P. Koidl, S. Domitz. In: Plasma Deposited Thin Films, ed. by J. Mort, F. Jancen (CRC Boca Raton, FL, 1986) chap. 4
  2. J.C. Angus, C.C. Hayman. Science, 241, 913 (1988)
  3. H.-C. Tsai, D.B. Body. J. Vac. Sci. Technol., A5, 3287 (1987)
  4. J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35, 2946 (1987)
  5. D. Dasgupta, F. Demichelis, C.F. Pirri, A. Tagliaferro. Phys. Rev. B, 43 (3), 2131 (1991)
  6. F.W. Smith. J. Appl. Phys., 55, 764 (1984)
  7. V.I. Ivanov-Omskii, A.V. Tolmatchev, S.G. Yastrebov. Phil Mag. B, 73, 715 (1996)
  8. V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, A.V. Tolmatchev, T.K. Zvonariova, S.G. Yastrebov. Phil. Mag. B, 76, 973 (1997)
  9. D.R. Mc.Kenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cocayne. Thin Sol. Films, 108, 247 (1983)
  10. V.I. Ivanov-Omskii, A.B. Lodygin, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, S.G. Yastrebov, A.V. Tolmatchev. J. Chem. Vapor Dep., 5 (3), 198 (1997)
  11. J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. St. Sol., 15, 627 (1966)
  12. Н. Мотт, Э. Дэвис. Электронные процессы в некристаллических веществах (М., Мир, 1982)
  13. F.W. Smith. Mater. Sci. Forum, 52--53, 323 (1989)
  14. В.И. Иванов-Омский, Г.С. Фролова, С.Г. Ястребов. Письма ЖТФ, 23 (7), 1 (1997)
  15. V.I. Ivanov-Omskii, M.P. Korobkov, B.R. Namozov, E.A. Smorgonskaya, S.G. Yastrebov. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 627 (1998)
  16. I. Watanabe, T. Okumura. Japan. J. Appl. Phys., 25, 1851 (1986)
  17. B. Dischler, A. Budenze, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  18. В.Л. Аверьянов, В.А. Федоров, С.Г. Ястребов. ЖТФ, 64 (1), 103 (1994)
  19. Т. Мосс. Оптические свойства полупроводников (М., Иностр. лит., 1961)
  20. S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 622 (1998)
  21. М. Дьюар. Теория молекулярных орбиталей в органической химии (М., Мир, 1972)
  22. H. Zabel, S.A. Solin. Graphite intercalation compounds II ( Transport and electronic properties) (Springer-Verlag, 1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.