"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Элементный состав и электрические свойства пленок a-C : H<Cu>, полученных магнетронным распылением
Звонарева Т.К.1, Лебедев В.М.2, Полянская Т.А.1, Шаронова Л.В.1, Иванов-Омский В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Поступила в редакцию: 14 марта 2000 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2000 г.

Методом магнетронного сораспыления графитовой и медной мишеней в аргоно-водородной атмосфере на постоянном токе получены пленки аморфного гидрогенизированного углерода с различной концентрацией меди. Определено относительное содержание атомов углерода, меди, кислорода с использованием метода обратного резерфордовского рассеяния протонов и метода ядерных реакций. Исследована удельная проводимость пленок на постоянном токе в геометрии вдоль и поперек пленки. Данные по проводимости обсуждаются в модели среды, представляющей собой диэлектрическую матрицу с включениями двух разных проводящих фаз в виде графитоподобных и медных нанокластеров.
  1. T. Cabioc'h, A. Naudon, M. Jaouen, D. Thiaudiere, D. Babonneau. Phil. Mag., 79 (3), 501 (1999)
  2. J. Jiao, S. Seraphin. J. Appl. Phys., 83 (5), 2442 (1998)
  3. В.И. Иванов-Омский, А.Б. Лодыгин, С.Г. Ястребов. ФТТ, 37 (6), 1693 (1995)
  4. V.I. Ivanov-Omskii, A.B. Lodygin, S.G. Yastrebov. Mol. Mater., 8, 95 (1996)
  5. V.I. Ivanov-Omskii, A.I. Tolmatchev, S.G. Yastrebov. Phil. Mag. B, 73, 715 (1996)
  6. В.И. Иванов-Омский, В.И. Сиклицкий, С.Г. Ястребов. ФТТ, 40 (3), 568 (1998)
  7. A.V. Kolobov, H. Oyanagi, S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, K. Tanaka. J. Surf. Analysis, 4 (2), 377 (1998)
  8. В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32(8), 931 (1998)
  9. Т.К. Звонарева, В.И. Иванов-Омский, А.В. Нащекин, Л.В. Шаронова. ФТП, 34(1), 96 (2000)
  10. Ion Beam Handbook for Material Analysis, ed. by J.M. Mayer, E. Rimini (N.Y., Academic Press, 1977)
  11. V.M. Lebedev, V.A. Smolin. 1994--1995 PNPI Research Report (Gatchina, 1996) p. 296
  12. F. Jansen, M. Machonkin, S. Kaplan, S. Hark. J. Vac. Sci. Technol., A3 (3), 605 (1985)
  13. Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников (М., Наука, 1979)
  14. D. Kember, N. Sheppard. Appl. Spectr., 29 (6), 496 (1975)
  15. А.О. Голубок, О.М. Горбенко, Т.К. Звонарева, С.А. Масалов, В.В. Розанов, С.Г. Ястребов, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (2), 223 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.