"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Моделирование фотохимических превращений и фотопотемнения пленок фоторезистов под действием импульсного вакуумного ультрафиолетового излучения
Калитеевская Н.А.1, Сейсян Р.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 января 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2000 г.

Предложено теоретическое описание процесса фотохимического превращения пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников, в частности AsSe. Проведен анализ результатов экспериментов по исследованию фотопотемнения тонких пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников под действием импульсного излучения ArF-эксимерного лазера с длиной волны излучения 193 нм. Установлено, что для материала AsSe процесс фотохимического превращения характеризуется оптической чувствительностью порядка 3 см3/кДж и пороговой интенсивностью света ~ 17 кДж/см2·с.
  • V. Mastelaro, S. Benazeth, H. Dexpert. J. de Physique IV, 2 (c2), 195 (1992)
  • C.J. Benmore, P.S. Salmon. Phys. Rev. Lett., 73 (2), 264 (1994)
  • V. Lyubin, M. Klebanov, V. Tikhomirov, G. Adriaenssens. Non-Cryst. Sol., 200, p. 2, 719 (1996)
  • G.J. Adriaenssens, V.K. Tikhomirov, S.R. Elliott. J. Non-Cryst. Sol., 230, p. B, 688 (1998)
  • M. Brun, H. Klewe-Nebenius, G. Pfennig, E. Bychkov, H.J. Ache. Surf. Coat. Technol., 97 (1--3), 707 (1997)
  • V. Palyok, A. Mishak, I. Szabo, D.L. Beke, A. Kikineshi. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Proc., 68 (4), 489 (1999)
  • V.M. Lubin, A.M. Sedykh, N.N. Smirnova, V.P. Shilo. Soviet. Microelectronics, 18 (6), 303 (1989)
  • S.V. Mamedov, M.D. Mikhailov, V.G. Pogoreva, O.A. Yakovuk. Inorganic materials, 23 (11), 1592 (1987)
  • A.V. Razin. Inorganic materials, 17 (2), 162 (1981)
  • V. Lyubin, M. Klebanov. Phys. Rev. B, 53 (18), 11 924 (1996)
  • A.A. Kikineshi, V.I. Mikla, D.G. Semak, M.M. Shiplyak. Ukrainskii Fizicheskii Zhurnal, 28 (5), 786 (1983)
  • Е.Г. Бараш, А.Ю. Кабин, В.М. Любин, Р.П. Сейсян. ЖТФ, 62 (3), 106 (1992)
  • Л.Г. Гладышева, Н.А. Калитеевская, Р.П. Сейсян, Д.В. Смирнов. Письма ЖТФ, 22 (15), 91 (1996)
  • A.V. Legin, E.A. Bychkov, Y.G. Vlasov. Sensors and Actuators B, 15 (1--3), 184 (1993)
  • E.A. Chandross, E. Reichmanis, C.W. Wilkins et al. Sol. St. Technol., 24 81 (1981)
  • F.H. Dill, W.P. Hornberger, P.S. Hauge. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-22 (7), 445 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.