Вышедшие номера
Особенности метода сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии Si и его возможности при получении структуры Si : Er / Si
Кузнецов В.П.1, Рубцова Р.А.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 23 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.

Исследуются температурные зависимости (300-77 K) концентрации и холловской подвижности носителей заряда в слоях Si : Er / Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии. Электрическая активность люминесцирующих центров с Er не наблюдалась. Продемонстрирована возможность точного контроля примесных профилей при получении структур типа p+-n-n+ для электролюминесценции.