"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование пленок GaN<O> и структур на их основе
Александров С.Е.1, Гаврикова Т.А.1, Зыков В.А.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 января 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Пленки твердых растворов GaN<O> с различным содержанием кислорода получены химическим осаждением из газовой фазы путем пиролитического разложения моноаммиаката хлорида галлия в присутствии паров воды на подложках из кристаллического кварца и кремния. Исследованы структура и оптические свойства пленок. Установлено, что при увеличении содержания кислорода в слое ширина запрещенной зоны при 300 K увеличивается от 3.4 до 3.9 эВ. Исследованы фотоэлектрические свойства гетеропереходов Si/GaN<O>. В диапазоне температур 80/290 K все гетеропереходы являются фоточувствительными, величина фотоответа и спектральная характеристика зависят от содержания кислорода в пленке GaN<O>. Обсуждены особенности строения металлургической границы гетероперехода.
  1. С.Е. Александров, А.М. Зыков, В.А. Крякин. Тез. докл. 7 конф. "Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок" (Новосибирск, 1986)
  2. Ф.Ф. Греков, Д.М. Демидов, А.М. Зыков. ЖПХ, 52, 1394 (1979)
  3. S.E. Alexandrov, V.A. Criakin. Abstracts Proc. 14th Int. Conf. and EuroCVD-11 (Paris, 1997) p. 2115. [J. Electrochem. Soc., 97, 22 (1997)]
  4. В.И. Фистуль, Л.Я. Первова, Э.М. Омельяновский. Матер, Всес. конф. "Технология получения и электрические свойства соединений AIIIBV" (Л., 1981) с. 3
  5. И.Д. Анисимова, И.М. Викулин, Ф.А. Заитов, Ш.Д. Курмашев. Полупроводниковые фотоприемники: ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный диапазоны спектра, под ред. В.И. Стафеева (М., 1984)
  6. Н. Мотт, Э. Дэвис. Электронные процессы в некристаллических веществах (М., 1982) т. 1
  7. М.Ф. Лисов, И.Я. Гузман. Тез. докл. Всес. сем. "Нитриды: методы получения, свойства и области применения" (Рига, 1984) т. 2, с. 88

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.