"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Образование поверхностного упрочненного слоя в бездислокационном кремнии при ультразвуковой обработке
Островский И.В.1, Стебленко Л.П.1, Надточий А.Б.1
1Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, физический факультет, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 22 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Изучено влияние ультразвуковой обработки на микропластические свойства приповерхностной области бездислокационного кремния. Исследования проводились на искусственно введенных дислокационных розетках. Использовался кремний p-типа с ориентацией поверхности [111]. Обнаружено, что ультразвуковая обработка приводит к образованию приповерхностного упрочненного слоя толщиной до 100 мкм и выходу на поверхность скоплений точечных дефектов типа вакансионных и вакансионно-примесных кластеров. Обсуждается возможный механизм наблюдаемых явлений.
  1. S.A. McHugo, H. Hieslmair, E.R. Weber. Appl. Phys. A, 64, 127 (1997)
  2. T. Mohammed-Brahim, O. Bonnaud et al. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, pt. B, 962 (1998)
  3. J. Koshka, S. Ostapenko, T. Ruf, T. Zhang. Appl. Phys. Lett., 68, 2537 (1996)
  4. В.П. Алехин. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов (М., Наука, 1983)
  5. V.P. Grabchak, A.V. Kulemin. Sov. Phys. Acoust., 22, 475 (1976)
  6. Я.М. Олих, Н.И. Карась. ФТП, 30, 1455 (1996)
  7. И.Б. Ермолович, В.В. Миленин, Р.В. Конакова, Л.Н. Применко, И.В. Прокопенко, В.Л. Громашевский. ФТП, 31, 503 (1997)
  8. I.V. Ostrovskii, Ju.M. Khalack, A.B. Nadtochii, H.G. Walther. Polyse'98 (Germany, Shwabish-Gmund, 1998) P. O43
  9. И.В. Островский, А.Х. Рожко. ФТТ, 26, 3718 (1984)
  10. В.В. Попов, Ф.Б. Чаплик. ФТТ, 10, 1789 (1976)
  11. И.В. Островский, О.А. Коротченков. ЖПС, 45, 1014 (1986)
  12. А.П. Здебский, М.К. Шейнкман, А.Н. Аннаниязов, Г. Гарягдыев. ФТТ, 29, 1135 (1987)
  13. И.В. Островский. Акустолюминесценция и дефекты кристаллов (Киев, Выща шк., 1993)
  14. Ультразвук. Маленькая энциклопедия (М., Сов. энцикл., 1979)
  15. А.П. Здебский, В.Л. Корчная, Т.В. Горчинская, М.К. Шейнкман. Письма ЖТФ, 12, 76 (1986)
  16. А.П. Здебский, М.И. Лисянский, Н.Б. Лукьянчиков, М.К. Шейнкман. Письма ЖТФ, 13, 1009 (1987)
  17. В.Л. Громашевский, В.В. Дякин, Е.А. Сальков. УФЖ, 29, 550 (1984)
  18. М.И. Вальковская, Б.М. Пугинаш, Э.Е. Марончук. Пластичность и хрупкость полупроводниковых материалов при испытаниях на микротвердость (Кишинев, АН Молд. ССР, Ин-т прикладной физики, 1984)
  19. В.И. Трефилов, Ю.В. Мильман. ДАН СССР, 153, 824 (1963)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.