"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние Au и Pt на концентрационное распределение Mn в Si
Куликов Г.С.1, Юсупова Ш.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

С применением радиоактивной методики исследовано влияние диффузии золота и платины из слоя, нанесенного на поверхность кремния, на концентрационное распределение 54Mn в объеме. Данные свидетельствуют об уменьшении концентрации марганца в объеме кремния в результате отжига образцов Si<54Mn> со слоем золота или платины на поверхности.
  1. К.П. Абдурахманов, Х.С. Далиев, Г.С. Куликов, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 27, 1222 (1993)
  2. Г.С. Куликов, Ю.А. Чичикалюк, Ш.А. Юсупова. ФТП, 29, 469 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.