"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности роста пленок a-C : H и a-C : H<Cu> при магнетронном распылении
Звонарева Т.К.1, Иванов-Омский В.И.1, Нащекин А.В.1, Шаронова Л.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Рассматриваются особенности роста пленок a-C : H и a-C : H<Cu>, полученных магнетронным сораспылением графитовой и медной мишеней в аргоно-водородной атмосфере. Пленки исследованы методами инфракрасной спектроскопии, сканирующей электронной микроскопии и эллипсометрии. Показано, что введение меди в аморфный гидрогенизированный углерод не приводит к заметному изменению углерод-водородных связей в матрице. В пленках a-C : H<Cu> толщиной ~ 2 мкм обнаружен прилегающий к подложке тонкий однородный слой (~1000 Angstrem), который сменяется текстурой, ориентированной от подложки к поверхности. Проведен анализ результатов эллипсометрических измерений в рамках двуслойной модели пленки.
  1. J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  2. J. Jiao, S. Seraphin. J. Appl. Phys., 83(5), 2442 (1999)
  3. Th. Gabioc'h, A. Naudon, M. Jaouen, D. Thiaudiere, D. Babonneau. Phil. Mag. B, 79(3), 501 (1999)
  4. V.I. Ivanov-Omskii. In: Diamond Based Composites and Related Materials, v. 38, ed. by M. Prelas, A. Benedictus, L-T.S. Lin, G. Popovici, P. Gielisse (Kluwer Acad. Publishers, Dordrecht, 1997) p. 171 [NATO ASI Ser. 3 (1997)]
  5. В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32(8), 931 (1998)
  6. G.A.J. Amaratunga, S.R.P. Silva. Appl. Phys. Lett., 68(18), 2529 (1996)
  7. S.R.P. Silva, G.A.J. Amaratunga, J.R. Barnes. Appl. Phys. Lett., 71(11), 1477 (1997)
  8. В.И. Иванов-Омский, С.Г. Ястребов, А.О. Голубок, С.А. Масалов, В.В. Розанов. Письма ЖТФ, 24(20), 28 (1998)
  9. Т.К. Звонарева, Л.В. Шаронова. ФТП, 33(6), 742 (1999)
  10. B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  11. D.R. McKenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cockaune. Thin Sol. Films, 108, 247 (1983)
  12. I.P. Ipatova, V.G. Malyshkin, A.A. Maradudin, V.A. Shchukin, R.F. Wallis. Phys. Rev. B, 57(20), 12 968 (1998)
  13. Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
  14. P.B. Johnson, R.W. Christy. Phys. Rev. B, 6(12), 4370 (1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.