Вышедшие номера
Влияние низкотемпературного перераспределения заряда на границе раздела Si / SiO2 на проводимость поверхностных электронных каналов
Бочкарева Н.И.1, Хорев С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1999 г.

Температурное поведение электронной плотности на границе раздела Si / SiO2 изучено с помощью измерений высокочастотной проводимости краевых поверхностных электронных каналов, шунтирующих барьеры Шоттки в n-Si. Результаты объясняются в рамках модели, в которой "металлический" характер температурного поведения проводимости отражает перераспределение электронного заряда между окислом и решеткой кремния в окрестности собственных температур кислородной подсистемы окисла.