Вышедшие номера
Моделирование неоднородной по объему преципитации кислорода в кремнии
Булярский С.В.1, Светухин В.В.1, Приходько О.В.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Поступила в редакцию: 20 июля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1999 г.

Предложена теоретическая модель преципитации точечных дефектов в кристаллах, которая обобщает известную модель Хэма. Использование данной теории позволило описать кинетику преципитации кислорода в кремнии, определить кинетику изменения средних геометрических размеров скоплений. Разработана теоретическая модель неоднородной по объему преципитации, которая может быть использована для описания процессов внутреннего геттерирования и создания диэлектрических слоев в объеме кремния.
  1. A. Borghesi, B. Pivac, A. Sassella, A. Stella. J. Appl. Phys., 77, 4196 (1995)
  2. R.A. Craven. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 36, 159 (1985)
  3. B.-Y. Tsaur. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 36, 641 (1985)
  4. R.A. Hartzell, H.F. Schaake, R.G. Massey. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 36, 217 (1985)
  5. M. Schrems, M. Budil, G. Hobler, H. Potzl, J. Hage. Proc. Simulation of Semicond. Dev. Proc., 4, 113 (1991)
  6. S. Senkander, J. Esfandyari, G. Hobler. J. Appl. Phys., 78, 6469 (1995)
  7. M.J. Binns, W.P. Brown, J.G. Wilkes, R.C. Newman, F.M. Livingston, S. Messoloras, R.J. Stewart. Appl. Phys. Lett., 42, 525 (1983)
  8. П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, В.И. Фистуль. Электрон. техн., Материалы, N 9, 70 (1978)
  9. J. Vanhellemont. J. Appl. Phys., 78, 4295 (1995)
  10. С.В. Булярский, В.В. Светухин, О.В. Приходько. Изв. вузов. Электроника, N 5, 24 (1997)
  11. M.V. Smoluchowski. Z. Phys. Chem., 92, 192 (1917)
  12. С.В. Булярский, А.Н. Георгобиани, В.В. Светухин. Кр. сообщ. по физике, N 5--6, 93 (1997)
  13. J.W. Christian. The Theory of Transformation of Metalls and Alloys (Pergamon, Oxford, 1975)
  14. Н.Г. Ван Кампен. Стохастические процессы в физике и химии (М., Высш. шк., 1990)
  15. F.S. Ham. J. Phys. Chem. Sol. 6, 335 (1958)
  16. F.S. Ham. J. Appl. Phys., 30, 1518 (1959)
  17. В.И. Фистуль. Распад пересыщенных полупроводниковых твердых растворов ( М., Металлургия, 1977)
  18. D. Turnbull. Acta Met., 1, 764 (1953)
  19. T.Y. Tan, C.Y. Kung. J. Appl. Phys., 59, 917 (1986)
  20. J. Vanhellemont, C. Claeys. J. Appl. Phys., 71, 1073 (1992)
  21. W. Kaiser, H.L. Frisch, H. Reiss. Phys. Rev., 112, 1546 (1958)
  22. F.M. Livingstone, S. Messoloras, R.C. Newman, B.C. Pike, R.J. Stewart, N.J. Binns. J. Phys. C, 17, 6253 (1984)
  23. Lee S. Tong, D. Nichols. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 59, 31 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.