Вышедшие номера
Формирование оптически активных центров в пленках аморфного гидрированного кремния при легировании эрбием
Мездрогина М.М.1, Аннаоразова М.П.1, Теруков Е.И.1, Трапезникова И.Н.1, Назаров Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1999 г.

На пленках a-Si : H, легированных Er различной чистоты, наблюдалась фотолюминесценция на длине волны 1.54 мкм. Показано, что дополнительное введение кислорода активирует ионы Er. Рассматривается вопрос о влиянии на ФЛ силицидов и дефектов в пленках аморфного кремния a-Si : H и в кристаллическом кремнии c-Si.