"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Низкотемпературная фотолюминесценция кремния, легированного гольмием
Андреев Б.А.1, Соболев Н.А.2, Курицын Д.И.3, Маковийчук М.И.4, Николаев Ю.А.2, Паршин Е.О.4
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт химии высокочистых веществ Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
4Институт микроэлектроники Российской академии наук, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 28 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Исследована фотолюминесценция кремния, имплантированного ионами гольмия с энергиями 1/ 2 МэВ и дозами 1· 1013/ 3· 1014 см-2 и отожженного при температурах 620/ 900oC в течение 0.5/ 1 ч. Для увеличения концентрации электрически и оптически активных центров проводилась дополнительная имплантация ионов кислорода с энергиями 0.14/ 0.29 МэВ и дозами 1· 1014/ 3· 1015 см-2. Наблюдалось несколько линий фотолюминесценции, обусловленных переходами электронов с первого возбужденного состояния ионов Ho3+ (5I7) в основное состояние (5I8). Амплитуда наиболее интенсивных линий с переходами на частотах 5119 и 5103 см-3 уменьшается более чем на порядок величины в диапазоне температур 4.2/ 78 K. Интенсивность линий фотолюминесценции ионов гольмия возрастает при увеличении концентрации введенных ионов редкоземельного элемента и кислорода.
  1. Н.А. Соболев. ФТП, 29, 1153 (1995)
  2. MRS Symp. Proc., 422 (1996)
  3. MRS Symp. Proc., 486 (1998)
  4. J. Luminesc. (1999) [ Proc. European MRS Spring Meeting (Strasbourg, 1998)]
  5. О.В. Александров, А.О. Захарьин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек, М.И. Маковийчук, Е.О. Паршин. ФТП, 32, 1029 (1998)
  6. V.V. Emtsev, V.V. Emtsev Jr, D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev. J. Luminesc. (1999)
  7. V.I. Vdovin, T.G. Yugova, N.A. Sobolev, E.I. Shek, M.I. Makovijchuk, E.O. Parshin. Nucl. Instrum. Meth. B147, 116 (1999)
  8. Н.А. Соболев, Е.И. Шек, А.М. Емельянов, В.И. Вдовин, Т.Г. Югова. ФТП, 33 (1999)
  9. N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, K.F. Shtel'makh. Appl. Phys. Lett., 71, 1930 (1997)
  10. Справочник по лазерам, под ред. А.М. Прохорова (М., Сов. радио, 1978) т. 1, ч. II, гл. 11--13

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.