"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Физическая модель и результаты численного моделирования деградации Si/SiO2-структуры при отжиге в вакууме
Гадияк Г.В.1, Stathis J.2
1Институт вычислительных технологий Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2IBM Research Division, T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York,, USA
Поступила в редакцию: 9 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1998 г.

Предлагается теоретическая модель для описания эволюции Pb-центров на границе раздела Si/SiO2 при отжиге в вакууме. Модель принимает во внимание реакции, происходящие с центрами на границе раздела, диффузию атомарного и молекулярного водорода. Выполнен расчет констант реакций в диффузионном приближении. Результаты расчетов находятся в согласии с экспериментом в диапазоне температур (480o-800oC) и толщин окислов (200-1024 Angstrem) для граней кремния (111) и (100).
  1. D.A. Buchanan, D.J. DiMaria, A.D. Marwick, L. Dory. Appl. Phys., 76, 3595 (1994)
  2. Г.В. Гадияк. ФТП, 31, 257 (1997)
  3. K.L. Brower, S.M. Meyers. Appl. Phys. Lett., 57, 162 (1990)
  4. D.L. Griscom. J. Electron. Mater., 21, 763 (1992)
  5. J.H. Stathis, E. Cartier. Phys. Rev. Lett., 72, 2745 (1994)
  6. E. Cartier, J.H. Stathis. Microelectronic Engineering, 28, 3 (1995)
  7. J.H. Stathis. J. Appl. Phys., 77, 6205 (1995) [Erratum: J. Appl. Phys., 78, 5215 (1995)]
  8. K.L. Brower. Appl. Phys. Lett., 43, 1111 (1983)
  9. P.M. Lenahan, P.V. Dressendorfer. J. Appl. Phys., 55, 3495 (1984)
  10. E.H. Poindexter, P.J. Caplan, B.E. Deal, R.R. Razouk. J. Appl. Phys., 52, 879 (1981)
  11. G.V. Gadiyak, Yu.N., Morokov, A.A. Karpushin, M. Tomasek. Chechosl. J. Phys. B, 35, 54 (1985)
  12. Г.В. Гадияк, А.А. Карпушин, И.В. Короленко, Ю.Н. Мороков, И.Ю. Семенова, А.Н. Сорокин, М. Томашек. Поверхность. Физика, химия, механика, 9, 72 (1986)
  13. K.L. Brower. Phys. Rev. B, 42, 3444 (1990)
  14. R. Khatri, P. Asoka-Kumar, B. Nielsen, L.O. Ruelling, K.G. Lynn. Appl. Phys. Lett., 65, 330 (1994)
  15. D. Fink, J. Krauser, D. Nagengast, T. Almeida Murphy, J. Exmeier, J. Palmetshofer, D. Brauning, A. Weidinger. Appl. Phys. A, 61, 381 (1995)
  16. Г.В. Гадияк, Г.А. Качурин, И.И. Шатров, И.Е. Тысченко. ФТП, 32, 1111 (1992)
  17. E. Cartier, J.H. Stathis. Appl. Phys. Lett., 69, 103 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.