"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние изовалентного легирования индием на избыток мышьяка в арсениде галлия, выращиваемом методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре
Чалдышев В.В.1, Куницын А.Е.1, Преображенский В.В.2, Путято М.А.2, Семягин Б.Р.2, Третьяков В.В.1, Фалеев Н.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 21 января 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.

С использованием методов рентгеноспектрального микроанализа, оптического пропускания в ближнем инфракрасном диапазоне и рентгеновской дифракции показано, что изовалентное легирование индием арсенида галлия в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре приводит к увеличению концентрации избыточного мышьяка, захватываемого в растущий слой.
  1. F.W. Smith, A.R. Calawa, C.L. Chen, M.J. Manfra, L.J. Mahoney. Electron. Dev. Lett., 9, 77 (1988)
  2. M. Kaminska, Z. Liliental-Weber, E.R. Weber, T. George, J.B. Kortright, F.W. Smith, B.Y. Tsaur, A.R. Calawa. Appl. Phys. Lett., 54, 1831 (1989)
  3. Н.А. Берт, А.И. Вейнгер, М.Д. Вилисова, С.И. Голощапов, И.В. Ивонин, С.В. Козырев, А.Е. Куницын, Л.Г. Лаврентьева, Д.И. Лубышев, В.В. Преображенский, Б.Р. Семягин, В.В. Третьяков, В.В. Чалдышев, М.П. Якубеня. ФТТ, 35, 2609 (1993)
  4. M.R. Melloch, N. Otsuka, J.M. Woodall, A.C. Warren, J.L. Freeouf. Appl. Phys. Lett., 57, 1531 (1990)
  5. S. Gupta, M.Y. Frankel, J.A. Valdmanis, J.F. Wittaker, G.A. Mouron, F.W. Smith, A.R. Calawa. Appl. Phys. Lett., 59, 3276 (1991)
  6. Z. Liliental-Weber, W. Swider, K.M. Yu, J. Kortright, F.W. Smith, A.R. Calawa. Appl. Phys. Lett., 58, 2153 (1991)
  7. G.M. Martin. Appl. Phys. Lett., 39, 747 (1981)
  8. R.E. Prichard, S.A. McQuaid, L. Hart, R.C. Newman, J. Makinen, H.J. von Bardeleben, M. Missous. J. Appl. Phys, 78, 2411 (1995)
  9. X. Liu, A. Prassad, J. Nishio, E.R. Weber, Z. Liliental-Weber, W. Walukiewicz. Appl. Phys. Lett., 67, 279 (1995)
  10. J. Dobrowski, M. Scheffler. Phys. Rev. Lett., 60, 2183 (1988)
  11. J.D. Chadi, K.J. Chang. Phys. Rev. Lett., 60, 2187 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.