Вышедшие номера
Особенности оптических спектров аморфного гидрированного кремния, легированного бором, в инфракрасной области спектра
Курова И.А.1, Белогорохова Л.И.1, Белогорохов А.И.2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Институт редкометаллической промышленности (Гиредмет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 28 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

В оптических спектрах исследованных пленок a-Si : H(B) обнаружены колебательные моды на волновых числах 1879 и 1848 см-1, ранее неблюдавшиеся только в спектрах кристаллического диборана. Это указывает на образование в аморфной сетке комплексов и связей, подобных имеющимся в диборане, в частности, мостикового водорода. Изменение амплитуд обнаруженных мод после отжига пленок связывается со структурными перестройками, приводящими к уменьшению концентрации слабо связанного мостикового водорода и увеличению концентрации четырехкоординированного бора. Это объясняет обнаруженное ранее увеличение проводимости отожженных пленок.