"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Модель квантовых ям и край оптического поглощения в структурно-неоднородных сплавах на основе a-Si : H
Будагян Б.Г.1, Айвазов А.А.1, Стряхилев Д.А.1, Соколов Е.М.1
1Московский институт электронной техники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

Мы исследовали микроструктуру и край оптического поглощения пленок a-Si : H и сплавов a-SiNx : H (x=0.0-0.72, полученных разложением в высокочастотном тлеющем разряде разбавленных водородом моносилана и смеси SiH4 + NH3 соответственно. Структурно-неоднородные пленки с оптоэлектронными характеристиками "приборного качества" были получены при повышенных скоростях роста (до 8 Angstrem/c). Как установлено методами атомной силовой микроскопии и спектроскопии ИК поглощения, характерным элементом их микроструктуры являются островки диаметром ~500 Angstrem, границы которых образованы скоплениями атомов водорода (в случае a-Si : H) или водорода и азота (в случае a-SiNx : H). При этом оптическая ширина запрещенной зоны a-Si : H (a-SiNx : H) определяются концентрациями связей SiH (SiN) в объеме островков и не чувствительна к изменению содержания водорода (азота) на границах островков. Этот результат находит свое объяснение в рамках модели квантовых ям, учитывающей характерные размеры микроструктуры, образованной атомами водорода либо азота.
  1. G.D. Cody. Semicond. Semimet. 21B, 11 (1984)
  2. M.B. Schubert, H.-D. Mohring, E. Lotter, G.H. Bauer, IEEE Trans., 36, 2863 (1989).
  3. A.P. Sokolov, A.P. Shebanin, O.A. Golikova, M.M. Mezdrogina. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 99 (1991)
  4. J. Robertson. Phil. Mag., 63, 47 (1991)
  5. M.H. Brodsky. Sol. St. Commun., 36, 55 (1980)
  6. A.A. Klochikhin. Phys. Rev. B, 52, 10, 979 (1995)
  7. S.K. O'Leary, S. Zukotinsky, J.M. Pierz. J. Appl. Phys., 78, 4282 (1995)
  8. B.G. Budaguan, A. Aivazov, A.Yu. Sazonov, A.A. Popov, A.E. Berdnikov. Mater. Res. Soc. Spring Meeting (San Francisco, USA, 1997)
  9. A.A. Langford, M.L. Fleet, B.P. Nelson, W.A. Lanford, N. Maley. Phys. Rev. B, 45, 13, 367 (1992)
  10. S. Chattopadhay, S.N. Sharma, R. Banarjee, D.M. Bhusari, S.T. Kshirsagar, Yan Chen, D.L. Wiliamson. Appl. Phys. Lett., 76, 5208 (1994)
  11. J.W. Osenbach, W.R. Knolle. J. Appl. Phys., 60, 1408 (1986)
  12. G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyj. Phys. Rev. B, 28, 3234 (1983)
  13. E. Bustarret, M. Bensouda, M.C. Habrard, J.C. Bruyere, S. Pouline, S.C. Gujrathi. Phys. Rev. B, 38, 8171 (1988)
  14. B.G. Budaguan, A.A. Aivazov, A.Yu. Sazonov. Physica B, 193, 195 (1994)
  15. J.M. Marshall, R.A. Street, M.J. Thompson. Phil. Mag. B, 54, 51 (1986)
  16. J. Baum, K.K. Gleason, A. Pines, A.N. Garroway, J.A. Reimer. Phys. Rev. Lett., 56, 1377 (1986).
  17. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифщиц. Квантовая механика. Нерелятивистская теория (М., 1989)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.