Вышедшие номера
Образование омического контакта в процессе непрерывного нагревания диодов Шоттки на основе GaAs и GaP
Гольдберг Ю.А.1, Поссе Е.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.

Изучалось изменение характеристик ток-напряжение и емкость-напряжение контактов полупроводник-твердый металл (диодов Шоттки GaAs-Ni и GaP-Au) в процессе их непрерывного нагревания. Установлено, что при некоторой температуре вентильные контакты переходят в омические. Такой переход происходит еще до возможного образования рекристаллизованного слоя, характерного для традиционного омического контакта. Температура перехода Tohm была существенно ниже температуры плавления металла. Исследование вольт-амперных характеристик этих структур, отожженных при различных температурах Tann и охлажденных до комнатной температуры, показало, что при Tann, меньших некоторой критической температуры T0, cвойства структуры практически не изменяются, при Tohm>Tann>T0 структуры остаются вентильными, но в них появляются избыточные токи, а при Tann>Tohm структуры необратимо становятся омическими. Предполагается, что после химического взаимодействия металла и приповерхностного слоя полупроводника вновь образованная поверхность приобретает свойства, обеспечивающие омические характеристики контакта металл-полупроводник.
  1. E.H. Rhoderick. IEEE Proc., 129, pt. 1, 1 (1982)
  2. A.Y.C. Yu. Sol. St. Electron., 13, 239 (1970)
  3. Ю.А. Гольдберг, Е.А. Поссе, Б.В. Царенков. ФТП, 20, 1510 (1986)
  4. Ю.А. Гольдберг, М.В. Ильина, Е.А. Поссе, Б.В. Царенков. ФТП, 22, 555 (1988)
  5. Yu.A. Goldberg, E.A. Posse, B.V. Tsarenkov. Electron. Lett., 7, 601 (1971)
  6. Ю.А. Гольдберг, Е.А. Поссе, Б.В. Царенков, М.И. Шульга. ФТП, 25, 439 (1991)
  7. L. Bernstein. J. Electrochem. Soc., 109, 270 (1962)
  8. Ю.А. Гольдберг, О.В. Иванова, Т.В. Львова, Б.В. Царенков. ФТП, 17, 1068 (1983)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.