"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Релаксация созданного освещением метастабильного состояния a-Si : H p-типа, легированного бором
Казанский А.Г.1, Ларина Э.В.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.

Исследована релаксация темновой проводимости пленок a-Si : H, легированных бором, после их освещения в интервале температур 360-470 K. Показано, что выбор условий освещения пленок (времени освещения и температуры) позволяет на основании изучения релаксации проводимости независимо исследовать релаксацию концентрации созданных светом метастабильных дефектов типа оборванных связей и релаксацию концентрации метастабильных состояний, связанных с примесными атомами. Как в первом, так и во втором случае релаксация происходит по закону растянутой экспоненты. Определены основные параметры, характеризующие релаксацию, и их температурные зависимости. Полученные результаты интерпретируются в рамках модели распределения энергий отжига, созданных светом метастабильных состояний.
  1. D.L. Staebler, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 31, 292 (1977)
  2. W.B. Jackson, J. Kakalios. Phys. Rev. B, 37, 1020 (1988)
  3. W.B. Jackson, D.M. Moyer. Phys. Rev. B, 36, 6217 (1987)
  4. J. Jang, S.C. Park, S.C. Kim, C. Lee. Appl. Phys. Lett., 51, 1804 (1987)
  5. А.Г. Казанский, Д.Г. Яркин. ФТП, 27, 1693 (1993)
  6. A.G. Kazanskii, I.A. Kurova, I.P. Zvyagin, D.G. Yarkin. J. Non-Cryst. Sol., 198--200, 470 (1996)
  7. X.-M. Deng, H. Fritzsche. Phys. Rev. B, 36, 9378 (1987)
  8. А.Г. Казанский. Вест. МГУ. Сер. 3, Физика, астрономия, 33, 70 (1992)
  9. А.Г. Казанский. ФТП, 31, 347 (1997)
  10. R. Meaudre, M. Meaudre, P. Roca i Gabarrocas. Appl. Phys. Lett., 62, 594 (1993)
  11. C.E. Nebel, R.A. Street, W.B. Jackson, N.M. Jonson. Phil. Mag. B, 69, 291 (1994)
  12. D. Redfield. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 258, 341 (1992)
  13. M. Stutzmann, W.B. Jackson, C.C. Tsai. Phys. Rev. B, 32, 23 (1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.