Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Кинетика перераспределения примеси в квазипериодических структурах, возникающих в сильно легированном бором кремнии, облученном ионами бора

Мясников А.М.¹, Ободников В.И.¹, Серяпин В.Г.¹, Тишковский Е.Г.¹, Фомин Б.И.¹, Черепов Е.И.¹

¹Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Поступила в редакцию: 8 ноября 1995 г.

Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Проведен анализ кинетики перераспределения примеси между фрагментами квазипериодического распределения бора, возникающего в сильно легированном бором кремнии в результате его облучения ионами бора и последующего отжига. Установлено, что при прогревах при температурах 900/1075^oC в областях кремния, содержащих квазипериодические структуры, при сохраняющемся интегральном количестве бора происходит его миграция, сопровождающаяся захватом примеси на участках с фиксированным положением в пространстве. Показано, что стадия формирования квазипериодического распределения примеси в интервале времен 10/240 мин при 900^oC аналогична стадии коалесценции пересыщенного твердого раствора внедрения.

А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И.Фомин, Е.И. Черепов. Письма ЖЭТФ, 60, N 2, 96 (1994)
D.J. Eaglesham, P.A. Stolk. H.-J. Gossmann, J.M. Poate. Appl. Phys. Lett., 65, 2305 (1994)
P.A. Stolk, H.-J. Gossmann, D.J. Eagleham, D.C. Jacobson, J.M. Poate, H.S. Luftman. Appl. Phys. Lett., 66, 568 (1995)
P.A. Stolk, D.J. Eaglesham, H.-J. Gossmann, J.M. Poate. Appl. Phys. Lett., 66, 1370 (1995)
H. Ryssel, K. Muller, K. Haberger, R. Henkelmann, F. Jahnel. Appl. Phys., 22, 35 (1980)
I.M. Lifshitz, V.V. Slyozov. J. Phys. Chem. Sol., 19, 35 (1961)
T.R. Waite. Phys. Rev., 107, 463 (1957)
Я.Б. Зельдович, А.Д. Мышкис. Элементы математической физики (М., Наука, 1973)
M. Miyake. J. Appl. Phys., 57, 1861 (1985)
R.N. Ghostagor. Phys. Rev. B, 3, 389 (1971)
S. Wagner. J. Electrochem. Soc., 119, 1570 (1972)
D.A. Antoniadis, A.G. Gonzalez, R.W. Dutton. J. Electrochem. Soc., 125, 813 (1978)
A.D. Kurtz, R. Yee. J. Appl. Phys., 31, 303 (1960)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель