"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Пороговое влияние локального импульсного лазерного облучения на поверхностные состояния окисного слоя на реальной поверхности германия
Винценц С.В.1, Дмитриев С.Г.1, Захаров Р.А.2, Плотников Г.С.2
1Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Московская область, Россия
2Физический факультет Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 июня 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

Представлены результаты изучения изменений спектров поверхностных состояний на реальной (с тонкой пленкой окисла) поверхности германия при действии локального (10-100 мкм) импульсного (0.1-1 мкс) лазерного облучения с расчетным уровнем нагрева поверхности ~(20-40) K. Показано, что порогам пластических деформаций в приповерхностной области полупроводника (связанным с возникающими локальными термонапряжениями) соответствуют пороговые же изменения спектров оптического заряжения медленных поверхностных состояний диэлектрика, а пороговые изменения быстрых состояний при этом не наблюдаются. Обсуждается природа эффекта.
  1. C.S. Lee, N. Koumvakalis, M. Bass. Appl. Phys. Lett., 47, 625 (1982); Opt. Eng., 22, 419 (1983)
  2. P.M. Fauchet. Phys. Lett., 93A, 155 (1983)
  3. А.Г. Барсков, С.В. Винценц. ФТТ, 36, 2590 (1994)
  4. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев. Письма ЖТФ, 21, вып. 19, 1 (1995)
  5. C.S. Lee, N. Koumvakalis, M. Bass. J. Appl. Phys., 54, 5727 (1983)
  6. S.S. Cohen, J.B. Bernstein, P.W. Wyatt. J. Appl. Phys., 71, 630 (1992)
  7. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев, О.Г. Шагимуратов. Письма ЖТФ, 22, вып. 8, 8 (1996)
  8. С.В. Винценц, С.Г. Дмитриев, О.Г. Шагимуратов. ФТТ, 38, 993 (1996)
  9. Ю.Ф. Новотоцкий-Власов. Тр. ФИАН СССР, 48 (1969)
  10. Н.В. Карлов, Н.А. Кириченко, Б.С. Лукьянчук. Лазерная термохимия (М., Наука, 1992) гл. 15, с. 269
  11. А.В. Ржанов. Электронные процессы на поверхности полупроводников (М., Наука, 1971) с. 480
  12. P.K. Kashkarov, V.F. Kiselev, S.N. Kozlov. Surf. Sci., 75, 251 (1978)
  13. П.К. Кашкаров, В.Ф. Киселев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 50, 435 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.