Моделирование массопереноса в условиях локальной газофазной эпитаксии с использованием маски
Проэкт Л.Б.1, Калитеевский М.А.1, Кантор В.Б.1, Пиотровский Д.А.1, Синицын М.А.1, Явич Б.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 мая 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1997 г.
Методом численого моделирования проведено исследование диффузионного массопереноса реагентов в условиях локальной газофазной эпитаксии с использованием маски. Рассмотрено возможное влияние адсорбции реагентов на поверхность маски и их поверхностной диффузии на скорость локального роста. Проведено сравнение результатов расчета с имеющимися в литературе экспериментальными данными.
- J.P. Duchemin, M. Bonnet, F.Kielsch, D. Huyghe. J. Cryst. Growth, 45, 181 (1978)
- K. Kamon, S. Takagish, H. Mori. J. Cryst. Growth, 73, 73 (1985)
- K. Kamon, M. Shimazu, K. Kimura, M. Mihara, M. Ishii. J. Cryst. Growth, 77, 297 (1986)
- G.B. Stringfellow. J. Cryst. Growth, 68, 111 (1984)
- Y.D. Galeuchet, P. Roentgen, V. Graft. J. Appl. Phys., 68, 560 (1990)
- T. Sasaki, M. Kitamura, I. Mito. J. Cryst. Growth, 132, 435 (1993)
- D.G. Coronell, K.F. Jensen. J. Cryst. Growth, 114, 581 (1991)
- K. Yamaguchi, M. Ogasawara, K. Okamoto. J. Appl. Phys., 72, 5919 (1992)
- Yu.N. Makarov, M.S. Ramm, E.A. Subashieva, A.I. Zhmakin. J. Cryst. Growth, 145, 271 (1994)
- Г. Шлихтинг. Теория пограничного слоя (М., Наука) с. 134
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
