Емкостная спектроскопия глубоких уровней при обмене носителями тока с обеими разрешенными зонами
Выставление онлайн: 19 марта 1997 г.
Рассмотрены некоторые особенности спектров DLTS глубоких уровней, которые эффективно обмениваются носителями тока с обеими разрешенными зонами. Показано, что максимумы пиков смещаются незначительно по шкале температур, но обработка спектров традиционными методами приводит к ошибкам в определении параметров глубоких уровней (энергии ионизации, сечения захвата). Предложено несколько способов более точного определения указанных параметров и приведен численный пример такой обработки спектров DLTS.
- C.T. Sah, V.G.K. Reddi, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-11, 345 (1964)
- C.T. Sah, L. Forbes, L.L. Rosier, A.F. Tasch. Sol. St. Electron. 13, 759 (1970)
- Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., Наука, 1981)
- А.А. Лебедев. в сб.: Методы диагностики точечных дефектов в полупроводниках и приборных структурах на их основе (Наманган, 1990) с. 17
- D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45, 3023 (1974)
- С.М. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Энергия, 1973)
- Е.В. Астрова, А.А. Лебедев. ФТП, 20, 683 (1986)
- Л.М. Капитонова, Л.С. Костина, А.А. Лебедев, А.Т. Мамадалимов, Ш. Махкамов. ФТП, 8, 694 (1974)
- А.А. Лебедев, В. Экке. ФТП, 20, 1806 (1986)
- А.А. Лебедев. ФТП, 28, 1980 (1994)
- Е.В. Астрова, А.А. Лебедев. Препринт N 1333, ФТИ им. А.Ф. Иоффе (Л., 1989)
- Е.В. Астрова, А.А. Лебедев. ФТП, 24, 549 (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
