"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Емкостная спектроскопия глубоких уровней при обмене носителями тока с обеими разрешенными зонами
Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 июня 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1997 г.

Рассмотрены некоторые особенности спектров DLTS глубоких уровней, которые эффективно обмениваются носителями тока с обеими разрешенными зонами. Показано, что максимумы пиков смещаются незначительно по шкале температур, но обработка спектров традиционными методами приводит к ошибкам в определении параметров глубоких уровней (энергии ионизации, сечения захвата). Предложено несколько способов более точного определения указанных параметров и приведен численный пример такой обработки спектров DLTS.
  1. C.T. Sah, V.G.K. Reddi, IEEE Trans. Electron. Dev. ED-11, 345 (1964)
  2. C.T. Sah, L. Forbes, L.L. Rosier, A.F. Tasch. Sol. St. Electron. 13, 759 (1970)
  3. Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., Наука, 1981)
  4. А.А. Лебедев. в сб.: Методы диагностики точечных дефектов в полупроводниках и приборных структурах на их основе (Наманган, 1990) с. 17
  5. D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45, 3023 (1974)
  6. С.М. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Энергия, 1973)
  7. Е.В. Астрова, А.А. Лебедев. ФТП, 20, 683 (1986)
  8. Л.М. Капитонова, Л.С. Костина, А.А. Лебедев, А.Т. Мамадалимов, Ш. Махкамов. ФТП, 8, 694 (1974)
  9. А.А. Лебедев, В. Экке. ФТП, 20, 1806 (1986)
  10. А.А. Лебедев. ФТП, 28, 1980 (1994)
  11. Е.В. Астрова, А.А. Лебедев. Препринт N 1333, ФТИ им. А.Ф. Иоффе (Л., 1989)
  12. Е.В. Астрова, А.А. Лебедев. ФТП, 24, 549 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.