"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Структура и электропроводность пленок поликристаллического кремния, полученных молекулярно-лучевым осаждением с сопутствующей низкоэнергетической ионной бомбардировкой поверхности роста
Павлов Д.А.1, Хохлов А.Ф.1, Шунгуров Д.В.1, Шенгуров В.Г.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1997 г.

Изучено влияние условий получения пленок поликристаллического кремния методом молекулярно-лучевого осаждения на их структуру и электропроводность. Показано, что приложение к подложке отрицательного относительно кремниевого источника напряжения в интервале от 50 до 300 В приводит к формированию более совершенных пленок по сравнению с пленками, полученными в обычных условиях. Они имеют также более высокую электропроводность. Полученные данные объясняются влиянием бомбардировки растущей пленки ионами легирующей плимеси.
  1. Ф.Л. Эдельман. Структура компонентов БИС (Новосибирск, Наука, 1980)
  2. В.М. Колешко, А.А. Ковалевский Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике (Минск, Наука, 1978)
  3. Д.А. Павлов, В.Г. Шенгуров, Д.В. Шенгуров, А.Ф. Хохлов. ФТП, 29, 286 (1995)
  4. П.В. Павлов, В.Н. Шабанов, В.Г. Шенгуров, А.В. Кожухов. Поверхность, N 11, 153 (1990)
  5. В.Г. Шенгуров, В.Н. Шабанов. Поверхность, N 12, 98 (1993)
  6. В.С. Постников, И.В. Золотухин, В.Н. Моргунов, В.М. Иевлев. ФММ, 29, 441 (1970)
  7. R.V. Kruzelecky, D. Racansky, S. Zukotynski, Y.C. Koo, J.M. Peza. J. Non-Cryst. Sol., 104, 237 (1988)
  8. Ф.С. Лютович. Рост кристаллов, 14, 34 (1983)
  9. А.В. Кожухов, Б.З. Кантер, С.И. Стенин, Б.М. Туровский, С.А. Чесноков. Поверхность, N 3, 160 (1989)
  10. Ю.Д. Чистяков, И.В. Коробов, В.О. Филипенко и др. Электрон. техн., N 9, 38 (1975)
  11. M. Marinov. Thin Sol. Films, 46, 267 (1977)
  12. H.R. Kaufmann, R.S. Robinson. J. Vac. Sci. Tech., 16, 179 (1979)
  13. G.E. Beoker, J.C. Bean. J. Appl. Phys., 48, 3395 (1977)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.