"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Дефекты в "собственном" и псевдолегированном аморфном гидрированном кремнии
Голикова О.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1997 г.

Приводятся данные о темновой и фотопроводимости пленок a-Si : H, полученных различными методами в режиме "мягкого" осаждения. Показано, что независимо от температуры подложки, материал, полученный в этом режиме, является "собственным". Отклонения от режима мягкого осаждения приводят к получению псевдолегированного a-Si : H с повышенной плотностью дефектов (оборванных Si--Si-связей) и с негомогенной структурой. Дефекты в собственном и в псевдолегированном a-Si:H находятся, соответственно, в состояниях D0 и D+.
  1. N.M. Johnson, P.V. Santsos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J.Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
  2. N. Hata, S. Wagner. J. Appl. Phys., 72, 2357 (1992)
  3. О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
  4. О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, 23, 1737 (1989)
  5. A. Matsuda, K. Tanaka. J. Appl. Phys., 60, 2351 (1986)
  6. V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldwin. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 71 (1993)
  7. M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 91 (1991)
  8. R. Zeidlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol, 164--166, 83 (1993)
  9. U. Kroll, J. Meier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shan, Ch. Holenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 60 (1991)
  10. О.А. Голикова, А.Н. Кузнецов, В.Х. Кудоярова, М.М. Казанин. ФТП, 30, 1879 (1996)
  11. R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S Nag, R.M. Collins, C.R. Wronski. J.Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
  12. W. Fuhs (private communication)
  13. T. Kamei, G. Ganguly, N. Hata, A. Matsuda. Proc. ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 15
  14. P.G. LeComber, W.E. Spear. J. Non-Cryst. Sol., 35--36, 327 (1980)
  15. N. Hata, A. Matsuda. Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 125
  16. C.M. Fortmann, R.M. Dawson, H.Y. Liu, C.R. Wronski. J. Appl. Phys., 76, 2841 (1994)
  17. О.А. Голикова, В.Х. Кудоярова. ФТП, 29, 1128 (1995).
  18. M. Nakata, S. Wagner, T.M.Peterson. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 179 (1993)
  19. M. Favre, A. Shan, J. Hubin, E. Bustarret, M.A. Hachicha, S. Basrour. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 335 (1991)
  20. H.M. Branz, V. Silver. Phys. Rev. B, 42, 7420 (1990).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.